德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 六足位移台 H-825.G2A

一、H-825.G2A六足位移台产品特点：

1、30公斤负载能力

2、±27.5毫米直线行程，±11.5度旋转行程

3、X轴，Y轴，Z轴方向位移0.25微米

4、重复精度±0.1微米/±2微弧度

5、搭载无刷直流电机和编码器

二、H-825.G2A六足位移台产品应用领域：

H-825.G2A六足位移台主要应用领域为科研领域和工业领域，用于微型装配，生物技术，半导体制造，光学对准。

三、H-825.G2A六足位移台产品参数：

行程参数：

主动轴：X，Y，Z，θX，θY，θZ

X、Y向上的行程：±27.5；±25毫米

Z向上的行程：±14毫米

θX、θY向上的行程：±11.5；±10.5度

θZ向上的行程：±19度

精度参数：

设计分辨率：0.008微米

X、Y和Z向上的位移：0.3；0.3；0.25微米

θX、θY、θZ向上的位移：3.5；3.5；4微弧度

X、Y向上的空回：3微米

Z向上的空回：1微米

θX、θY向上的空回：20微弧度

θZ向上的空回：25微弧度

X、Y向上的重复精度：±0.5；±0.25微米

Z向上的重复精度：±0.1微米

θX、θY向上的重复精度：±2微弧度

θZ向上的重复精度：±2.5微弧度

X、Y和Z向上的速度：2.5毫米/秒

θX、θY和θZ向上的速度：27毫弧度/秒

X、Y和Z向上的典型速度：2毫米/秒

θX、θY和θZ向上的典型速度：5.5毫弧度/秒

负载参数：

负载能力（底板为水平方向/任意方向）：30/10千克

保持力，断电（底板为水平方向/任意方向）：300/150牛

其他参数：

工作温度范围：-10到50摄氏度

质量：10千克

电机类型：无刷直流电机

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