德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷扫描器 纳米定位平台 P-752

P-752 高精度纳米定位平台

应用领域：

扫描显微镜

测量技术

测试程序和质量保证

光子

光纤定位

产品参数：

型号：P-752.11C

主动轴：X

集成传感器：电容式

-20至+120伏时的开环行程：20微米

行程，闭环：15微米

分辨率，开环/闭环：0.1纳米

线性误差，闭环：0.03%

重复精度：±1纳米

螺距/偏转角：±1微弧度

运动方向上的刚性：30牛/微米

谐振频率，空载：3200赫兹

带300 克负载时的谐振频率：980赫兹

运动方向上的推/拉力：100 / 10牛

负载容量：30牛

型号：P-752.1CD

主动轴：X

集成传感器：电容式

-20至+120伏时的开环行程：20微米

行程，闭环：15微米

分辨率，开环/闭环：0.1纳米

线性误差，闭环：0.03%

重复精度：±1纳米

螺距/偏转角：±1微弧度

运动方向上的刚性：30牛/微米

谐振频率，空载：3200赫兹

带300 克负载时的谐振频率：980赫兹

运动方向上的推/拉力：100 / 10牛

负载容量：30牛

型号：P-752.21C

主动轴：X

集成传感器：电容式

-20至+120伏时的开环行程：35微米

行程，闭环：30微米

分辨率，开环/闭环：0.2纳米

线性误差，闭环：0.03%

重复精度：±2纳米

螺距/偏转角：±1微弧度

运动方向上的刚性：20牛/微米

谐振频率，空载：2100赫兹

带300 克负载时的谐振频率：600赫兹

运动方向上的推/拉力：100 / 10牛

负载容量：30牛

型号：P-752.2CD

主动轴：X

集成传感器：电容式

-20至+120伏时的开环行程：35微米

行程，闭环：30微米

分辨率，开环/闭环：0.2纳米

线性误差，闭环：0.03%

重复精度：±2纳米

螺距/偏转角：±1微弧度

运动方向上的刚性：20牛/微米

谐振频率，空载：2100赫兹

带300 克负载时的谐振频率：600赫兹

运动方向上的推/拉力：100 / 10牛

负载容量：30牛

德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷扫描器 纳米定位平台 P-752