德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 光学实验位移台 线性平台 Q-521.340

一、Q-521.340线性平台产品特点：

21毫米宽度，10毫米高度，1纳米编码器分辨率，2纳米线性平台位移

二、Q-521.340线性平台产品应用领域：

Q-521.340线性平台主要应用领域为光学对准，显微镜，半导体技术。

三、Q-521.340线性平台产品参数：

行程参数：

主动轴：X

行程：32毫米

精度参数：

速度，闭环：6毫米/秒

位移：2纳米

俯仰角：300微弧度

偏转角：400微弧度

线性度：3.5微米

集成传感器：线性编码器

传感器分辨率：1纳米

参考点开关：光学

双向重复精度：80纳米

负载参数：

负载能力，水平方向：0.3千克

负载能力，任意方向：0.06千克

导向类型：交叉滚柱轴承

驱动力：0.6牛

保持力：1.3牛

其他参数：

电机类型：压电惯性驱动器

工作温度：0到40摄氏度

电缆长度：1米

电机/传感器连接器：D-sub15针（公头）

不含电缆和连接器的质量：48克

质量（包含电缆和连接器）：135克

材料：不锈钢

尺寸：42.2 毫米×21 毫米×10毫米

德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 光学实验位移台 线性平台 Q-521.340