德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷系统 纳米定位系统 P-611.3OF

德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 压电陶瓷系统 纳米定位系统 P-611.3OF

X、Y向上的螺距：±5微弧度

θX向上的倾斜（Z向运动）：±10微弧度

X向上的偏转角：±20微弧度

Y向上的偏转角：±10微弧度

θY向上的倾斜（Z向运动）：±10微弧度

应用领域：
光子学/集成光学

显微操纵

生物技术

半导体测试

光纤定位

型号：P-611.3OF

主动轴：X、Y、Z

-20至120 伏时的开环行程：120/轴微米

行程，闭环：–微米

分辨率，开环：0.2纳米

分辨率，闭环：–纳米

线性误差：–%

重复精度：–纳米

X、Y向上的螺距：±5微弧度

θX向上的倾斜（Z向运动）：±10微弧度

X向上的偏转角：±20微弧度

Y向上的偏转角：±10微弧度

θY向上的倾斜（Z向运动）：±10微弧度

刚度：0.3牛/微米

X/Y/Z向上的空载谐振频率：350/220/250赫兹

带30克负载时X/Y/Z向上的谐振频率：270/185/230赫兹

带100克负载时X/Y/Z向上的谐振频率：180/135/200赫兹

负载容量：15牛

德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 压电陶瓷系统 纳米定位系统 P-611.3OF