德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 纳米定位器 压电纳米定位系统 P-616.3C

德国PI PHYSIK INSTRUMENTE 纳米定位器 压电纳米定位系统 P-616.3C

主动轴：X、Y、Z

-20至120伏时的开环行程：110/轴微米

行程，闭环：100/轴微米

分辨率，1s，开环：0.3纳米

分辨率，1s，闭环：0.4纳米

线性误差：0.03%

双向重复精度，1s，10%行程范围内：<10纳米

双向重复精度，1s，行程范围内：<15纳米

应用领域：

光纤定位和对准

扫描显微镜

双光子聚合

纳米技术和纳米制造

光子学/集成光学

显微操纵

样本定位

产品参数：

型号：P-616.3C

主动轴：X、Y、Z

-20至120伏时的开环行程：110/轴微米

行程，闭环：100/轴微米

分辨率，1s，开环：0.3纳米

分辨率，1s，闭环：0.4纳米

线性误差：0.03%

双向重复精度，1s，10%行程范围内：<10纳米

双向重复精度，1s，行程范围内：<15纳米

传感器类型：电容式传感器

刚度：0.5牛/微米

X/Y/Z向上的空载谐振频率：700赫兹

带38克负载的谐振频率X/Y/Z：380赫兹

带100克负载的谐振频率X/Y/Z：250赫兹

推/拉力大小：15牛

允许转矩：0.4牛米

德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 纳米定位器 压电纳米定位系统 P-616.3C