Piezoconcept 纳米定位器三轴LFHS2技术参数

产品简介

LFHS2是一款2轴超高速纳米精密定位器，沿X和Y方向的行程范围可达75米，具有66毫米x 66mm毫米的大孔径，两轴的谐振频率均高于2kHz。如果需要，它还可以与集成的Z轴(50米行程范围)一起使用(参见3轴型号LFHS3).

这种压电载物台可以与粗定位微载物台结合使用(参见我们的混合系统).

这种纳米定位器是我们高速产品线的一部分(高功率控制器可用)。利用高功率控制器，高速扫描和短于2毫秒的阶跃响应时间是可能的。

产品参数:

产品参数：

运动范围（um）:30

分辨率（nm）:0.03

噪声下限（nm典型值）0.003

重复性（nm）:0.06

线性化（典型值共振频率（Hz）:0.02%

线性化:0.02%

刚度（N/um）0.6

传感器尺寸Wx L x H（mm）:120.8x120.7x28.5

材料电缆长度（m）:2

控制器负载:1

水平使用垂直使用:0.5

谐振频率XY（Hz）:3000/2000

刚度XY（N/um）:4/3

Piezoconcept 纳米定位器三轴LFHS2技术参数