德国PI Physik Instrumente 光学实验位移台 六足位移台 六足台 H-824.G2

一、H-824.G2六足位移台产品特点：

10公斤负载，45 毫米/25度行程，0.3微米位移，±0.1 微米/±2微弧度重复精度，25毫米/秒运动速度。

二、H-824.G2六足位移台产品应用领域：

H-824.G2六足位移台主要应用领域为显微操纵，生物技术，半导体制造。

三、H-824.G2六足位移台产品参数：

行程参数：

主动轴：X，Y，Z，θX，θY，θZ

X、Y向上的行程：±22.5毫米

Z向上的行程：±12.5毫米

θX、θY向上的行程：±7.5度

θZ向上的行程：±12.5度

精度参数：

促动器设计分辨率：0.007微米

X、Y和Z向上的位移：0.3微米

θX、θY、θZ向上的位移：3.5微弧度

X、Y向上的空回：2微米

Z向上的空回：0.7微米

θX、θY向上的空回：14微弧度

θZ向上的空回：17微弧度

X、Y向上的重复精度：±0.25微米

Z向上的重复精度：±0.1微米

θX、θY向上的重复精度：±2微弧度

θZ向上的重复精度：±2微弧度

X、Y和Z向上的速度：1毫米/秒

θX、θY、θZ向上的速度：11毫弧度/秒

Typ.X、Y和Z向上的典型速度：0.5毫米/秒

Typ.θX、θY、θZ向上的速度：5.5毫弧度/秒

负载参数：

X、Y向上的刚性：1.7牛/微米

Z向上的刚性：7牛/微米

负载能力（底板为水平方向）：10千克

负载能力（底板为任意方向）：2千克

保持力（断电、底板为水平方向）：100牛

保持力（断电、底板为任意方向）：50牛

其他参数：

电机类型：直流齿轮电机

工作温度范围：-10到50°C

材料：铝

质量：8千克

电缆长度：3米

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