德国SPS旋涂机光学设备POLOS 450参数

POLOS为半导体、生命科学、食品、实验室和制药行业提供设备，特别是有针对性的支持；大学、R&D研究所和小型生产设施。我们的产品组合包括用户友好和高度耐用的系统，主要在光刻和处理过程领域。

我们的波罗单晶片旋转涂布机可在NPP或PTFE。这些高质量的旋涂机是专门为R&D和MEMS、半导体、生命科学、光伏、微流体等领域的小批量生产而设计的。适用于所有典型的旋转过程:清洗，冲洗/干燥，涂层，显影，玻璃载玻片和蚀刻。

产品说明
POLOS 450高级单衬底自旋处理器，台式，带NPP外壳、自旋杯、手动化学分配和重型马达。符合空气动力学的高效处理室提高了均匀性，而天然聚丙烯或不锈钢处理室保证了无污染、易于清洁的处理区域。所有装置都具有可编程的顺时针和逆时针旋转和搅拌功能。

干燥、冲洗/清洁和自动涂布

规格:

高达500毫米的圆形和350 x 350毫米的方形基板
材料:天然聚丙烯(高等级NPP、工具主体和所有浸湿表面)
手动化学品分配2条自动静态分配线
气动盖子打开和关闭
卡盘适配器和一个真空卡盘，适用于多达3种晶片尺寸
速度1500转/分
自动顺序或并行化学分配器
透明盖子，中心周围有6个注射器组件。(每个可独立编程)
顺时针和逆时针旋转水坑
带有可定制图标的(可拆卸)彩色触摸屏
标准1英寸排水接头
精密数字电机控制器(1500转/分)
用于容纳6x蠕动泵的独立模块

德国SPS旋涂机光学设备POLOS 450参数