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紫外光刻胶-薄胶AZ5214
价格：￥电议
品牌名称：$brandModel.Title(进口品牌)型号： 原产地：中国大陆 发布时间：2024/2/17 14:25:17更新时间：2024/11/21 7:44:39
产品摘要：AZ5214g/h/i-Line1-2um0.5um反转胶
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详细内容
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| 类型 | 光刻胶型号 | 适用光谱 | 厚度范围/um | 分辨率 | 适用工艺 |
| 紫外光刻胶-薄胶 | S1800系列 | g-Line, | 0.5-3.5 | 0.5um | 正性光刻胶，稳定性好；适用于分辨率要求较高的光刻工艺 |
| AZ5214 | g/h/i-Line | 1-2um | 0.5um | 反转胶 | |
| BCI-3511 | i-Line | 0.5-2 | 0.5um | 正性i线光刻胶，适用于各类接触式光刻机（mask aligner）、stepper | |
| SPR 955 | i-Line | 0.5-3.5 | 0.35um | 正性i线光刻胶，适用于分辨率要求较高的湿法腐蚀和干法刻蚀 | |
| AZ 1500 | g/h/i-Line | 0.5-5 | 1um | 正性光刻胶，广泛应用于半导体制造 |
電子束光阻產品表
| 品名 | 黏度 （mPa・s） | 塗佈膜厚（nm） @2000rpm | 溶劑 | 包裝方式 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 電子束光阻 | ZEP520A | 11 | 500 | Anisole | 1QT瓶 / 100ml瓶 |
| ZEP520A-7 | 7 | 300 | |||
電子束光阻專用顯影液
| 品名 | 特徵 | 包裝方式 | |
|---|---|---|---|
| 顯影液 | ZED-N50 | 高感度 | 加侖瓶 |
