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RGB 彩色光刻胶 EK 580A
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详细内容
電子束光阻產品表
品名 | 黏度 (mPa・s) | 塗佈膜厚(nm) @2000rpm | 溶劑 | 包裝方式 | |
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電子束光阻 | ZEP520A | 11 | 500 | Anisole | 1QT瓶 / 100ml瓶 |
ZEP520A-7 | 7 | 300 |
電子束光阻專用顯影液
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类型 | 光刻胶型号 | 适用光谱 | 厚度范围/um | 分辨率 | 适用工艺 | |
彩色光刻胶 | EK 580A | i-Line | 0.8—1.5 | 2um | 黑色负性i-line光刻胶,阻挡可见光,较强的粘附性 | |
| i-Line | 0.8—1.4 | 4um | RGB彩色光阻,可通单色光 | ||
染色SU-8 | g/h/i-Line | 15-200 | 0.5um | 负性环氧类化学放大光刻胶; |