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纳米压印胶mr-NIL 6000E
价格：￥电议
品牌名称：$brandModel.Title(进口品牌)型号： 原产地：中国大陆 发布时间：2024/2/17 15:27:13更新时间：2024/11/15 8:10:21
产品摘要：mr-NIL 6000E热固化和UV固化0.1-150nm可用于纳米图形的制造、刻蚀、多层系统等
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详细内容
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ZEP530A是一种非化学放大型正型电子束抗蚀剂，具有优异的分辨率和耐干蚀刻性以及宽的工艺余量。
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ZEP530A是一种非化学放大型正型电子束抗蚀剂，具有优异的分辨率和耐干蚀刻性以及宽的工艺余量。
薄膜形成是可能的。
電子束光阻產品表
| 品名 | 黏度 （mPa・s） | 塗佈膜厚（nm） @2000rpm | 溶劑 | 包裝方式 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 電子束光阻 | ZEP530A-6 | 6 | 200 | Anisole | 1QT瓶 / 100ml瓶 |
