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SU-8助粘剂
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品牌名称：$brandModel.Title(进口品牌)型号： 原产地：中国大陆 发布时间：2024/2/17 15:33:44更新时间：2024/11/15 8:10:21
产品摘要：NMD-3 2.38%TMAH5LR/PC正、负胶显影液，适用于薄胶NMD-W 2.38%TMAH5LR/PC正、负胶显影液，适用于大于5um的厚胶
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详细内容
EP530A是一种非化学放大型正型电子束抗蚀剂，具有优异的分辨率和耐干蚀刻性以及宽的工艺余量。
薄膜形成是可能的。
電子束光阻產品表
| 品名 | 黏度 （mPa・s） | 塗佈膜厚（nm） @2000rpm | 溶劑 | 包裝方式 | |
|---|---|---|---|---|---|
| 電子束光阻 | ZEP530A-6 | 6 | 200 | Anisole | 1QT瓶 / 100ml瓶 |
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| 名 | 主要成分 | 包装 | 应用 |
| NMD-3 2.38% | TMAH | 5LR/PC | 正、负胶显影液，适用于薄胶 |
| NMD-W 2.38% | TMAH | 5LR/PC | 正、负胶显影液，适用于大于5um的厚胶 |
| NMD-3 25% | TMAH | 5LR/PC | 正、负胶显影液 |
| ZX-238型 | TMAH | 5LR/PC | 正、负胶显影液 |
| PM-THINNER | PGMEA | 5LR/PC | SU-8显影液、稀释剂 |
| SP-01型 | NMP | 5LR/PC | 去胶液 |
| RZN-6200 | HMDS | 500ml/PC | 助粘剂 |
| AP8000 | 见MSDS | 1Gal/PC | 助粘剂 |
| SU-8 ADP | 见MSDS | 125ml/PC | SU-8助粘剂 |
