彩色光刻胶染色SU-8
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类型 | 光刻胶型号 | 适用光谱 | 厚度范围/um | 分辨率 | 适用工艺 | |
彩色光刻胶 | EK 580A | i-Line | 0.8—1.5 | 2um | 黑色负性i-line光刻胶,阻挡可见光,较强的粘附性 | |
RGB 彩色光刻胶 | i-Line | 0.8—1.4 | 4um | RGB彩色光阻,可通单色光 | ||
染色SU-8 | g/h/i-Line | 15-200 | 0.5um | 负性环氧类化学放大光刻胶; |
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