AR-P 3500,AR-P 3500T 通用型光刻胶
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详细内容
适于集成电路制造中的掩膜加工。高敏感、高分辨率且在金属和氧化物表面附着力好。其中,AR-P 3500T是针对 AR-P 3500 系列进行优化,而新研制的一种光刻胶;性能和AR-P 3500相似,同时还具备了良好的耐等离子刻蚀性能,以及大的工艺宽容度。
AR-P 3500,AR-P 3500T 通用型光刻胶
适于集成电路制造中的掩膜加工。高敏感、高分辨率且在金属和氧化物表面附着力好。其中,AR-P 3500T是针对 AR-P 3500 系列进行优化,而新研制的一种光刻胶;性能和AR-P 3500相似,同时还具备了良好的耐等离子刻蚀性能,以及大的工艺宽容度。000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000
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AR-P 3700/3800 高分辨率光刻胶
可用于制作亚微米结构,如高集成电路等。甩胶层表面平整均匀,高敏感度,高对比,良好的结构稳定性,工艺要求范围宽。AR-P 3840为染色的光刻胶,可以降低驻波和散射等的影响。
AR-P 5300 单层Lift-Off工艺用胶
Lift-off工艺用胶,利用普通的光刻工艺便可很容易得进行剥离工艺。高敏感、高分辨率,且与金属和氧化物表面附着良好。
2. 图形反转胶
AR-U 4000 图形反转胶
通过调整工艺参数可实现正胶或负胶性能。图形反转工艺后,光刻胶呈现负胶性能,可以得到非常明星的倒梯形结果,用于lift-off工艺。
3.负胶
AR-N 2200
适合喷涂(Spray Coating)的负性光刻胶,高灵敏度。胶层表面非常平整,且可很好的保护粗糙的衬底表面,可用于复杂工艺。
AR-N 4240 紫外、深紫外曝光,可做lift-off工艺
i线、深紫外曝光。适合制作亚微米图形,为满足集成电路制造中的关键工艺要求而设计。良好的耐等离子体刻蚀性能,在金属和氧化物表面的附着力好,并可用于lift-off工艺。
AR-N 4340 化学放大胶,紫外曝光,可做lift-off工艺
i线、g线曝光。化学放大胶,高灵敏度,高分辨率,高对比度,在金属和氧化物表面附着力好,可用于lift-off工艺