电子束抗蚀剂PMMA(AR-P 631~ 671
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详细内容
PMMA胶种类齐全,不同的系列中包含了各种分子量(50K, 200K, 600K, 950K),各种溶剂(氯苯,乳酸乙酯,苯甲醚)以及各种固含量的PMMA胶
1.正胶
PMMA(AR-P 631~ 671,AR-P 639~ 679,AR-P 672)
PMMA胶主要的特点是高分辨率、高对比度、低灵敏度。
PMMA胶种类齐全,不同的系列中包含了各种分子量(50K, 200K, 600K, 950K),各种溶剂(氯苯,乳酸乙酯,苯甲醚)以及各种固含量的PMMA胶,以满足各类电子束光刻的工艺要求。另外,厂商还可以根据客户的具体需求来生产其他分子量、固含量的PMMA胶。
PMMA胶可用于单层或双层电子束曝光、转移碳纳米管或石墨烯、绝缘层等多种工艺。
(注:工厂可根据用户的需求,定制所需分子量、固含量的PMMA胶。)0000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000
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