AR-P 6200 超高分辨率、高耐刻蚀电子束正胶
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品牌名称：$brandModel.Title(进口品牌)型号： 原产地：中国大陆 发布时间：2024/6/19 10:10:08更新时间：2024/12/11 8:54:11
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详细内容
高分辨率，通过简单的工艺即可得到10nm甚至更小的结构。高深宽比（可达20:1），高对比度（>15）。良好的耐干法刻蚀性能，是PMMA胶的2倍。完全可以取代ZEP胶，经济实惠，并且采购简单，包装规格多样化。0000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000000
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AR-P 6510 （PMMA厚胶）LIGA工艺用正胶
以PMMA为基础开发出的电子束厚胶，厚度从10~250μm不等，图形剖面陡直。主要用于LIGA工艺和X-Ray 曝光工艺。
