负性光刻胶去除剂
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详细内容
主要用于耐碱刻蚀以及保护层。光刻胶可以在2n(2mol/L)的NaOH中可以稳定很长时间。
SX AR-PC 5000/80 聚酰亚胺光刻胶,不含光敏物质
热稳定性光刻胶,在400°C时仍然很稳定。不含光敏物质,但是可以和正胶配合使用,通过双层工艺来制作图形。可以用于制作传感器材料、保护层及绝缘层。
SX AR-PC 5000/82 聚酰亚胺光刻胶,紫外正胶
热稳定性光刻胶,正胶,在400°C时仍然很稳定。具有良好的耐等离子刻蚀性能,可用于离子注入工艺。
X AR-P 5800/7 深紫外曝光胶,正胶
深紫外曝光(248 - 265 nm 和300 - 450 nm),在这个波长范围内,光刻胶的透射率高。耐刻蚀性能好。适合接触曝光,曝光过程中,产生的氮气少,可以提高图形质量。
SX AR-P 3500/6 全息曝光用胶,正胶
在长波段具有很好的灵敏度,敏感波段为(308 – 500nm),主要用于全息曝光工艺。
SX AR-N 4800/16 有机溶剂显影光刻胶(用于无水环境),负胶
基于PMMA的负胶,曝光波长230 – 365nm。主要用于工艺中衬底材料对水敏感,需要无水环境操作的情况。采用有机溶剂显影,避免了水或潮气对衬底材料的破坏。
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