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上海洪柯自动化仪表公司推出的D500/D600气体质量流量控制器（Mass Flow Controller）/气体质量流量计(Mass Flow Metre)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。广泛应用于半导体、真空、太阳能、分析仪器、光电、制气、医疗、电力、化工等各个领域。产品具有精度高、重复性好、稳定性高、性价比高、工作压力范围宽、使用寿命长等特点。
| 流量规格（N2）： | (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500)SCCM；(0~1、2、3、5、10、20、30、50、100)SLM |
| 准确度： | ±1%F.S. |
| 线性： | ±0.5%F.S. |
| 重复精度： | ±0.2%F.S. |
| 响应时间： | ≤1Sec |
| 工作压差范围： | (0.05~0.3)MPa |
| 耐压： | 10MPa |
| 工作环境温度： | 5~65℃ |
| 电气连接： | 8 Pin（Mini S Plug） |
| 输入/输出信号 | Digital：RS232/RS485； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA |
| 电源： | 7~16VDC 1A；或24VDC500mA |
| 标准接头： | Swagelokφ3,φ6,φ10…；Swagelok 1/8″,1/4″…； VCRφ3,φ6…；VCR 1/8″,1/4″… |
| 外形尺寸 | 130*28*121mm |
| 重量约 | 1.0kg
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