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德国KSI 硅片键合缺陷检测系统 / IGBT模组缺陷检测系统咨询电话：021-3467 3715超声波扫描显微镜KSI v-700E德国KSI公司的中国服务中心负责KSI系统设备在大中华区的销售和服务，包括大陆、香港地区、澳门地区！超声波扫描显微镜，英文是：Scanning Acoustic Microscope，简称SAM，由于它的主要工作模式是C模式，因此也简称：C-SAM。现在做失效分析的第三方实验室里，这个设备直接被通称为C-SAM，就像X射线透射机被通称为X-Ray一样。 上个世纪的90年代中，微电子器件的大规模生产制程中，发现IC的Die上下表面脱层，锡球/芯片裂缝、或填胶中的裂缝、封装材料（很多塑封材料） 内部的气孔等缺陷，无法用常规的X-ray失效分析手段检测到，此时，一种新型的测试技术被引入到芯片的后封装测试领域，它就是超声波扫描显微镜。说是显 微镜，其实它与常规的光学显微镜两者没有任何关系，只是因为这个设备*早是由国外厂家先行研发并投入到生产领域，这个名字也是直接从外文直译过来，因此中 文严格可以称为：中高频超声波无损检测系统，或许更为合适。工作原理超声波扫描显微镜有两种工作模式：基于超声波脉冲反射和透射模式工作的。反射模式是主要的工作模式，它的特点是分辨率高，对待测样品厚度的没有限制。透射模式只在半导体企业中用作器件筛选。该系统的核心就是带压电陶瓷的微波链，压电陶瓷在射频信号发生的激励下，产生短的声脉冲，随后这些声脉冲被声透镜聚焦在一起，超声波扫描显微镜..