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技术文章
超过速超声波显微镜与低端超声波扫描显微镜的区别
点击次数：286 发布时间：2019/7/12 13:30:25
高端的超声波扫描显微镜不仅速度快/、精度高，而且使用寿命长；它与低端机型到底有什么区别呢？
超声波显微镜在其它领域的应用：
| 性能参数 | KSI v400E （磁悬浮式线性电机） | 丝杆步进电机 |
| 扫描电机 | 20年 | 5年 |
| 扫描速度 | 2m/s | 0.5m/s |
| 加速度 | 3g | 1g |
| 发热量 | 无摩擦，不发热 | 靠齿轮驱动，摩擦力大，用手触摸点击烫手 |
| 重复精度 | ±0.1um | ±0.5um |
| 相同速度下噪音 | 非常小 | 刺耳 |
| 适用领域 | 产线检测，速度快，效率高，高端 | 适用于小批量抽检，不求效率，价格便宜 |
超声波显微镜在其它领域的应用：
在失效分析中的应用
- 晶圆面处分层缺陷
- 锡球、晶圆、或填胶中的开裂
- 晶圆的倾斜
- 各种可能之孔洞（晶圆接合面、锡球、填胶…等）
在失效分析中的优势
- 非破坏性、无损检测材料或IC芯片内部结构
- 可分层扫描、多层扫描
- 实施、直观的图像及分析
- 缺陷的测量及缺陷面积和数量统计
- 可显示材料内部的三维图像
- 对人体是没有伤害的
- 可检测各种缺陷（裂纹、分层、夹杂物、附着物、空洞、孔洞等）
应用领域
- 半导体电子行业：半导体晶圆片、封装器件、大功率器件IGBT、红外器件、光电传感器件、SMT贴片器件、MEMS等;
- 材料行业：复合材料、镀膜、电镀、注塑、合金、超导材料、陶瓷、金属焊接、摩擦界面等；
- 生物医学：活体细胞动态研究、骨骼、血管的研究等.
原创作者：上海西赫多光电有限公司
