| 面板TEG Prober |
| 型号 | TEG prober-G6 | TEG prober-G8.5 |
| 外形 | 2850mm(宽)x2500mm(长)x2500 mm(高) | 4000mm(宽)x3500mm(长)x2500 mm(高) |
| 重量 | 约9700KG | 约14200KG |
| 电力需求 | 380V，50Hz, 3Phase, approx. 50A Max |
| 可测试液晶屏尺寸 | 长宽≤1500 *1850 mm(W x D) , 厚度≤3mm | 长宽≤2500 * 2200 mm(W x D) , 厚度≤3mm |
| 平台功能 | Gantry结构 | 龙门式，可以选择双龙门 |
| X-Y-Z轴运动行程 | 1850*1500 *58mm(X-Y-Z) | 2500 *2200*58mm(X-Y-Z) |
| X-Y运动速度 | 0~600mm/s可调 | 探针规格 | 针卡 | 两套，可同时测试两个patten |
| X-Y精度(*小移动量) | 0.1um | Pitch范围：定制 |
| X-Y重复定位精度 | ±1um | 探针材质：钨or铍铜等 |
| X-Y 轴驱动 | 直线电机+光栅尺 | 工作模式：可以单独测试，或者两个针卡一起测试。两个针卡间的相互距离可调。 |
| Z 运动速度 | 0~10mm/s可调 |
| Z精度 | 0.25um | 探针和TEG对位方式 | 坐标定位 |
| Z重复定位精度 | ±1um | 测试过程中的二次视觉检测 |
| Z轴驱动 | 伺服电机+光栅尺 | 探针和TEG的接触方式 | 自动接触 |
| Z轴保护 | 电机自锁+机械限位保护 | 探针自动保护功能:edge sensor 和机械限位，可以根据panel厚度设定限位高度，点针的OD值可设。 |
| 样品台平整度 | ±50um平整度 |
| 样品台涂层 | 防静电涂层 |
| 样品台高低温 | Temp Chuck 或者 Thermal Stream (-55~200℃) |
| 光学特性 | 光路系统倍率： | 5X ,10X ,20X，50X Objects
| 探针轴旋转行程 | ±90° |
| 放大倍率范围50X~ 500X | 探针旋转精度 | 0.01° |
| 聚焦 | 自动聚焦 | 旋转重复定位精度 | 0.03° |
| CCD | 200/500万像素工业相机 | 探针清洁 | 自动清针 |
| 光源 | 面背光、点背光、上光源 | 清洁后自动测针 |
| 光源亮度独立可调，面背光可选择分区控制 | 探针台漏电精度（安装针卡的情况） | 100fA 以内（测试标准：给针卡任意针脚加压—5V~+5V，在不吹N2的情况下，空载测试漏电流<100fA）吹氮气N2辅助干燥(Recipe 可以设置是否开启N2且N2测试报告体现开N2与不开N2区别) |
| 激光特性（选件） | 激光系统 | 激光切割系统（2.2mj/Pluse Maximum@50Hz) |
| 0-100% |
| 激光波长 | 1064nm，532nm，355nm |
| 光斑尺度 | 1.0um @100X object | 测试能力 | 测试系统 | 两套 |
| 2.0um @50X object | 半导体参数测试系统:2*HRSMU+4*MPSMU+CV 测试单元+高精度矩阵开关等 |
| 工作模式 | One Shot/Burst/Continue |
| 形状 | 可调节的矩形 | TFT测试项目 | Ion |
| 控制 | 工作模式 | 自动测试，CIM通讯，实现数据的自动导入和输出 | Ioff |
| Vth |
| 上下片 | 机械手或者流水线 | Mobility |
| CIM系统 | 有 | Swing |
| 减震 | 被动式减震系统，能够确保点针测试的稳定性 | Resistance测试项目 | Rs |
| 工业PC | 23寸显示器&电脑：i7 处理器，1TB硬盘2块 | Rc |
| (其中一块为备份硬盘)，8G内存，1G独立显卡 | 输送电压 | ±200V |
| 通讯接口 | RS232/485/TCP/IPGPIB等 | 输送电流 | ±1A |
| 安全 | 整机带屏蔽罩，操作人员在屏蔽罩外操作 | 电流测试分辨率 | 1fA（无需前置放大器） |
| 紧急开关EMO | 电压测试分辨率 | 0.5uV |
| 限位sensor，运动平台和探针系统限位互锁 | CV 测试频率范围 | 1kHz~5MHz |
| Interlock报警，自动关闭系统(软件设置为可选) | 接地单元电流宿能力 | 4.2A GNDU |
| 应用方向 | OLED/TFT-LCD Panel TEG 电学测试 |
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| 特点： |
| 业界*快的测试速度 | 超高的测试精度 |
| 稳定的测试结果 | mult-probe card设计 |
| 0.1um精度的直线电机平台 | 自动清针，自动测针 |
| 极小的针痕损伤 | 全自动测试 |
