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技术文章

东莞光学3D表面轮廓仪

点击次数:20 发布时间:2024/3/13 10:34:30

供应光学3D表面轮廓仪
http://www.app17.com/c141840/products/d9714794.html
 

技术指标

1.技术规格表

光源

白光LED

影像系统

1024×1024

干涉物镜

2.5×5×10×,20×50×

光学ZOOM

0.5×0.75×,1×

标准视场

0.49×0.49

视场

6×6

物镜塔台

3孔手动

XY位移平台

尺寸

320×200

移动范围

140×100

负载

10kg

控制方式

电动

水平调整

±4.5°手动

Z

聚焦

行程

100

控制方式

电动

Z向扫描范围

10

Z向分辨率

0.1nm

可测样品反射率

0.5%~100%

粗糙度RMS重复性

0.005nm

台阶测量

准确度

重复性

0.75%

           

一、 产品功能

1) 一体化操作的测量与分析软件,操作无须进行切换界面,预先设置好配置参数再进行测量,软件自动统计测量数据并提供数据报表导出功能,即可快速实现批量测量功能。

2)  测量中提供自动多区域测量功能、批量测量、自动聚焦、自动调亮度等自动化功能。

3)  测量中提供拼接测量功能。

4)  分析中提供调整位置、纠正、滤波、提取四大模块的数据处理功能,其中调整位置包括图像校平、镜像等功能;纠正包括空间滤波、修描、尖峰去噪等功能;滤波包括去除外形、标准滤波、过滤频谱等功能;提取包括提取区域和提取剖面等功能。

5)  分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能,其中粗糙度分析包括依据标准的ISO4287的线粗糙度、ISO25178面粗糙度、ISO12781平整度等全参数分析功能;几何轮廓分析包括台阶高、距离、角度、曲率等特征测量和直线度、圆度形位公差评定等功能;结构分析包括孔洞体积和波谷深度等;频率分析包括纹理方向和频谱分析等功能;功能分析包括SK参数和体积参数等功能。

6)  分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能,设置分析模板,结合测量中提供的自动测量和批量测量功能,可实现对小尺寸精密器件的批量测量并直接获取分析数据的功能。

 

           

 

原创作者:北京两把刷子企业管理有限公司

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