资讯:韩国赛可台式扫描电镜4500资料中心

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主要功能

1) 大放大倍率15万倍

2) Top-View CCD 相机

- Navigation mode : 样品原图像抓取

- Click & Move (Auto)

3) Fully Motorzied Stage

- X,Y,R,Z,T - 5轴

- Recipe function : 分析位置储存后再分析功能

4) B Type : SE (二次电子) + BSE (背散射电子)

High + Low Vacuum Mode

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Table-SEM (台式扫描电子显微镜)

- Model : SNE-4500M Plus (Type : B)

1) Resolution

2) Magnification

3) Accelerating Voltage

4) Detector

5) Electron Gun

6) Lens system

7) Detector type

9) Image Shift

11) Frame memory

12) Navigation Mode

13) Recipe Function

14) Automation Funtion

15) Image Format

16) Data Display

17) Vacuum System

18) Operation system

: 5nm (30kV, SE Image)

: 15x ~ 150,000x

: 1 to 30kV (1/5/10/15/20/30 - 6step)

: 二次电子图像(SEI) - Secondary Electron Image

背散射电子图像(BSEI) - Back Scattered Elecron Image

: 坞灯丝, 韦氏帽更换方式

: 偏压系统 - 自动偏压系统

: Two-stage Elecromagnetic : Condenser Lens

One-stage Elecromagnetic : Objective Lens

: E-T Detector (SE) / Solid state (4channel-BSE)

: 5-axis System (Fully Motorized Type)

- X, Y-axis : 40mm / R-axis : 360°, Z : 0~40mm / Tilt-axis : -45~90°

- Navigation 画面及 SEM 软件画面 双击后 -> 移动

- Motor精密度 :≤ 3um

: X, Y Beam Shift (Max. 150?)

: 80mm(Diameter) / 40mm(Height), Max Height 50mm

: High Speed Mode (320*240) : 实时 Preview mode

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19) Contorl system

: SEM Control PC (Desk)

- OS : Microsoft Window 7, CPU : Intel CoreTM

- Memory / HDD : 4GB

/ 500GB or High version

- Monitor(LCD) : 22inch

20) Software

: 长度, 面积, 角度, 文本等 Mearsurement

: 可以对图像进行多种信息设置，可编辑视频 及数据文本

: 设置初始值, 图像测量模块, Archives, Setting(EDS)

: 储存的图像在分析功能 -> 明暗&亮度保证 及 Mearsurement 测定功能

21) Demension

: Main Unit－－－－－－－－－－－－ 390(W)×380(D)×560(H)mm (88kg)

: Controller Unit－－-390(W)×325(D)×560(H)mm (37kg)

: Rotary Pump－－－－－－400(W)×160(D)×340(H)mm (24kg)

原创作者：元丰技术（东莞）有限公司