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Rion 液体光学颗粒度仪
液体光学颗粒度仪
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光刻胶/硅片
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日立Hitachi
UV灯
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气体电离探测器GED
气体电离探测器（GED）是一种用于测量气体中金属颗粒浓度的技术，尤其适用于半导体行业中特殊气体的分析。该系统通过一个高效的膜来交换气体，使得样品气体中的金属颗粒能在无需预处理的情况下直接引入到电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）中进行高灵敏度分析。
价 格：￥电议型 号：产 地：日本
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激光剥蚀多通道原子吸收光谱系统LAGM
LAGM激光剥蚀多通道原子吸收光谱系统采用飞秒激光和电流计镜，可精确烧蚀 300 毫米晶圆样品，无需小型封闭腔室。系统配备双注射器模型 MSAG_DS，支持标准加入法进行定量分析，具备点和面倾斜度、轮廓及杂质分析功能。系统能全自动操作，支持多种分析模式如全扫描、斑点、直线、块模式及深度剖面模式，适用于晶圆和非晶圆样品的全 面分析。
价 格：￥电议型 号：产 地：日本
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