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技术文章
美国 TED PELLA 108AUTO 自动离子溅射仪
点击次数：842 发布时间：2019/8/21 19:39:09
美TED PELLA 108AUTO 自动离子溅射仪 sputter coater
108Auto是一款结构紧凑的桌上型镀膜系统，特别适用于扫描电镜成像中非导电样品高质量镀膜。
主要特性
· 自动的换气与泄气功能，可以得到一致的膜厚，和zui佳的导电喷镀效果。
· 通过高效低压直流磁控头进行冷态精细的喷镀过程，避免样品表面受损。
· 操作容易快捷，可全自动或手动进行喷镀操作，控制的参数包括自动放气以及氩气换气控制。
· 在自动模式下，可通过两种方式进行控制镀膜过程。可通过数字显示器控制得到可重现的喷镀效果，
· 通过使用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）在达到设定膜厚时停止喷镀过程。
· 可用MTM-20高分辨膜厚控制仪（选件）手动停止喷镀过程。
· 数字化的喷镀电流控制不受样品室内氩气压力影响，可得到一致的镀膜速率和zui佳的镀膜效果。
· 可使用多种金属靶材：Au，Au/Pd,，Pt,，Pt/Pd（Au靶为标配），靶材更换快速方便。
| 技术参数 | |
| 样品室大小 | 直径120mmx 120mm 高(4.75 x 4.75") |
| 靶材 | Au 靶为标配，Au:Pd, Pt, Pt:Pd （选件）;大小：直径57mmx 0.1mm厚 |
| 样品台 | 可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm |
| 溅射控制 | 微处理器控制，安全互锁，可调，zui大电流40mA，程序化数字控制 |
| 溅射头 | 低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩 |
| 模拟计量 | 真空：Atm - 0.001mbar |
| 厚度监控 | 使用MTM-20高分辨厚度控制仪（选件）自动终止溅射过程，或使用MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）手动终止溅射过程 |
| 控制方法 | 自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0－300s），自动放气 |
| 桌上系统 | 真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统 |
原创作者：深圳市蓝星宇电子科技有限公司
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