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德国IPLAS MPCVD 微波等离子化学气相沉积系统
点击次数：23 发布时间：2024/3/16 16:14:11
CYRANNUS® systems
微波等离子体化学气相沉积系统
Iplas 公司与 1997 年在德国科隆由 Hildegard Sung-Spitzl 博士及其丈夫 Ralf Spitzl 博士建立。
两位创世人在基础物理和应用物理域具有渊博的知识，并在等离子技术域具有深厚的研究开发经 验。
Ralf Spitzl 博士至已有逾三十多年的等离子物理研究经历，Ralf Spitzl 博士于 1996 年发明了 CYRANNUS®等离子源，并与 1998 年取得了 CYRANNUS®的第一个利。2003 年 Iplas 制造了 16" CYRANNUS® I 等离子源，是上大的可在大气压下运行的商用等离子源，同年因其 CYRANNUS® 技术的卓越性能，iplas 和美国阿贡国家实验室共同获得 R&D100 奖项。天 Iplas 已经拥有等离子技术域的 20 余项国际利。
独家利技术：
4. CYRANNUS 多天线耦合技术将激发的等离子体团集中在腔体中，远离石英管，所以对石英管的加热效应有限，风冷+水冷的冷却措施可以防止反应壁过热的问题。
金刚石特性： 高硬度，高热导率，抗辐射性，光学性质，化学、热稳定度等:
金刚石应用：
| 宝石：宝石，量子计算晶体 | 电子半导体：第四代半导体，高功率高频器件, 高亮度平面显示等 |
| 散热片：激光二管，磁控管等器件的热控 | 医学植入：人工视网膜 |
| 光学窗口：x-ray, 微波，激光, | 工具：刀具、电的耐磨图层 |
德国造出 155 克拉大合成钻石 研究耗时 26 年
钻石因其璀璨夺目的外表和高昂的市场价值被大家追捧，但天然钻石的产量有限。近，德国就造出 了世界上大的合成钻石。
德国奥格斯堡大学的研究人员研发出了一种在大约十分之一大气压力下，通过化学气相沉积法门制 造合成钻石的方法。用这种方法合成的钻石就是在低压条件下，采用一定方法激活含碳气体，使其中 的碳原子在基底上过饱和沉积、生长成钻石。
奥格斯堡大学的这项研究始于 1991 年，已经经历了 26 年。而这颗 155 克拉的盘型单晶钻石的直径
比镶在英国女王权杖上的，世界上有名的巨型钻石，“库利南 1 号”的直径还要大。尽管盘状结 构合成钻石在珠宝中的应用潜力十分有限。但导这项研究的物理学家施雷克表示，这项技术的工业 应用将十分广泛。
德国 iplas 大事记
| 1996 年 | iplas 创始人 Ralf Spitzl 博士提出 CYRANNUS®多天线耦合等离子源概念 |
| 1999 年 | iplas 公司发明线形 CYRANNUS®利技术 |
| 2000 年 | iplas 创始人 Sung-Spitzl 博士作为女性企业家因取得杰出成就获得德国政府表彰 |
| 2000 年 | iplas 授予欧洲利权 |
| 2001 年 | iplas 授予美国利权 |
| 2002 年 | iplas 发起 CYRANNUS®多天线耦合技术研讨会 |
| 2002 年 | iplas 公司新的工厂投入使用，占地面积 1,500 平方米 |
| 2003 年 | iplas 推出 16 英寸 CYRANNUS®系统，成为全球大的可在常压下工作的商业化微波 等离子系统 |
| 2003 年 | iplas 及美国能源部大的研究中心阿贡实验室由于 CYRANNUS®多天线耦合技术而获得“R&D 100 Award”奖 |
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