Iplas公司与1997 年在德国科隆由Hildegard Sung-Spitzl博士及其丈夫Ralf Spitzl博士建立。两位创世人在基础物理和应用物理域具有渊博的知识，并在等离子技术域具有深厚的研究开发经验。

Ralf Spitzl 博士至已有逾三十多年的等离子物理研究经历，Ralf Spitzl 博士于 1996 年发明了CYRANNUS®等离子源，并与 1998 年取得了CYRANNUS®的第 一个利。2003 年 Iplas 制造了16" CYRANNUS® I 等离子源，是上 大的可在大气压下运行的商用等离子源，同年因其CYRANNUS® 技术的卓 越性能，iplas 和美国阿贡国家实验室共同获得 R&D100 奖项。 天 Iplas已经拥有等离子技术域的 20 余项利。

MPCVD 法是在微波能量的作用下，将沉积气体激发成等离子体状态，在由微波产生的电磁场的作用下，腔体内的电子相互碰撞并产生剧烈的振荡，促进了谐振腔内其它的原子、基团及分子之间的相互碰撞，从而有效地提高反应气体的离化程度，达到辉光发电，产生更高密度的等离子体。德国 iplas公司的独 家利多天线耦合微波等离子技术（CYRANNUS®），可在反应腔中实现高的 SP3 键转化率，使得腔体中充满过饱和原子氢和含碳基团，从而有效地提高了沉积速率并且使得金刚石的沉积质量得到改善，这正是获取优 质金刚石的技术基础。德国 iplas 推出的微波等离子化学气相沉积系统（MPCVD），其真空室的形式为金属腔-石英管一体式，压力操作范围从 10mbar 到室压范围，可制备大尺寸、优 质金刚石（工艺参数得当可制备出饰钻石）和高均匀性的金刚石厚膜。

1. CYRANNUS 技术采用多天线激发技术，开创性解决了高气压下等离子体团不稳定、闪烁的问题。可以在更高的功率（100kw）,更高的气压（室压）下仍然保持稳定的等离子体团， 因此为高速生长优 质金刚石膜提供了可能。

2. CYRANNUS 多天线耦合技术配合 Iplas 利的 E-H 调节器，可对向和反射微波功率进行调节和测量。反射功率可以控制在 5%以下。

3. CYRANNUS 多天线耦合技术的高能量密度保 证了高的 SP3 键的转换率，相较于传统等离子技术 CVD 系统，可以获得更高品质的金刚石。

4. CYRANNUS 多天线耦合技术将激发的等离子体 管的加热效应有限，风冷+水冷的冷却措施可以防止反应壁过热的问题。

德国造出 155 克拉 大合成钻石 研究耗时 26 年

钻石因其璀璨夺目的外表和高昂的市场价值被大家追捧，但天然钻石的产量有限。近，德国就造出了上 大的合成钻石。

德国奥格斯堡大学的研究人员研发出了一种在大约十分大气压力下，通过化学气相沉积法门制造合成钻石的方法。用这种方法合成的钻石就是在低压条件下，采用一定方法激活含碳气体，使其中的碳原子在基底上过饱和沉积、生长成钻石。

奥格斯堡大学的这项研究始于 1991 年，已经经历了 26 年。而这颗 155 克拉的盘型单晶钻石的直径比镶在英国女王权杖上的，上有名的巨型钻石，“库利南 1 号”的直径还要大。尽管盘状结构合成钻石在珠宝中的应用潜力十分有限。但导这项研究的物理学家施雷克表示，这项技术的工业应用将十分广泛。

德国 iplas 大事记

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