企业档案
- 会员类型：免费会员
- 工商认证： 【未认证】
- 最后认证时间：
- 法人：
- 注册号：
- 企业类型：代理商
- 注册资金：人民币万
联系我们
联系人：杜经理
技术文章
日本RION测光阻用液体粒子计数器: KS-41A, KS-41B
点击次数：69 发布时间：2024/8/2 16:09:56
日本RION测光阻用液体粒子计数器: KS-41A, KS-41B
液体光学颗粒度仪 KS-41A
可检测光阻产品、SOG 等产品中 0.15um 的颗粒。
. 可侦测到小粒径 0.15um 的粒子
. 可自行设定的粒径范围 0.15~0.5um，通过 KE-40B1 的控制器
可扩充至 10 个通道
出厂设定为 4 通道：0.15 / 0.2/ 0.3 / 0.5um
. 综合泄漏传感器与报警输出
. 客户可在此测量范围内自行选择粒径通道（通过 KE-40B1）
.png)
.png)
.png)
液体光学颗粒度仪 KS-41B
可检测光阻产品、SOG 等产品中 0.1um 的颗粒。
.可侦测到光阻产品中小粒径 0.1um 的颗粒（小可定制到0.7um）流量为 5mL/min。（用于测试透明液体如纯水）
. 可自行设定的粒径范围 0.1~0.5um，通过 KE-40B1 的控制器可
扩充至 10 个通道
出厂设定为 5 通道：0.1/0.15 / 0.2/ 0.3 / 0.5um
.可以连接多个监控系统。
.png)
.png)
.png)
.png)
.png)
使用液体粒子计数器的主要域：
液体计数器的使用是为了控制化学品中的粒子，如半导体制程中的用材料，比如SOG(旋转涂布玻璃）和光阻材料，超纯水和清洗用化学剂（比如碱、有机溶剂和氢氟酸）。另外，也可检测化学机械抛光中大粒径的研磨液，测试方法包括在线和离线测试。
原创作者：苏州增创电子科技有限公司
