德国Eulitha PhableR 100高分辨紫外光刻系统 

科研/生产兼用 

简介： 

PhableR 100 紫外光刻机是一套低成本的光学曝光系统，但却能获得高分辨率的周期性结构。同传统的紫外曝光机类似，涂覆了光刻胶的晶片以接近方式放置在掩膜版下面，被紫外光束照射。由于Eulitha公司拥有突破性的PHABLE 曝光技术，在"PHABLE"模式下，分辨率不再受到衍射的限制，从而曝光出亚微米的线性光栅和二维光栅（六角形和正方形），且曝光结果非常均匀，质量很 好；在"mask aligner"模式下，能非常轻松地获得微米尺寸的图形。

技术指标： 

PhableR 100 晶圆级光子学结构的曝光工具

应用： 

· 图形化蓝宝石衬底（PSS）

· DFB布拉格光栅

· 减反层图形

· 显示滤光片Color Filter

· 线栅偏振Wire Grid Polarizer（WGP）

· 光子晶体

· 磁性纳米结构

· 太阳能光伏

· 生物传感器

· AR、VR技术