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美国 OAI 光刻机 Model 200 型桌面掩模对准器系统
价格：￥电议
品牌名称：$brandModel.Title(进口品牌)型号：OAI 200 原产地：美洲 发布时间：2020/11/15 20:11:39更新时间：2024/12/24 10:12:45
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完全手工操作
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。选择紫外LED光源(365 nm和405 nm)
。空气轴承真空吸盘
。接近(15-20um): & lt; 3.0 - 5.0, 软接触:2.0um，硬触点:1um和真空接点:≤0.5um
。对齐模块X, Y,和Z轴和θ
。双通道光学反馈
。只提供正面接触w / IR选项
。可用在桌面选项只适用于研发及独立工作
。.占用空间小
。适用于生物学、微机电系统、半导体和 Microfludics CLiPP应用程序
Model 200 Table Top Mask Aligner System
