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日本Elionix电子束光刻机
价格：￥电议
品牌名称：$brandModel.Title(进口品牌)型号：ELS-BODEN 原产地：日本 发布时间：2021/3/16 15:07:59更新时间：2024/12/24 10:12:53
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详细内容
NEW ELS-BODEN Electron Beam Lithography System
新型ELS-BODEN 电子束光刻系统
ELS Series
大样品尺寸
8" wafer / 12" wafer
Maximum Exposure Area 大曝光面积
200mm × 200mm / 300mm × 300mm
Loading System
加载系统
Single cassette auto loader
Multiple cassette auto loader
12" FOUP Robot loader
Robot loader with PEB
Variable wafer size robot loader
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多盒式自动装载机
12" FOUP 机器人装载机
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Software 软件
elms
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