当前位置： 易推广 > 光学仪器 > 光学应用 > 光学平台 > 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 > 产品展示 > 半导体微纳检测仪器 > 德国Zeiss扫描电镜 > 基恩士KEYENCE形状测量激光显微系统
基恩士KEYENCE形状测量激光显微系统
价格：￥电议
品牌名称：$brandModel.Title(进口品牌)型号：VK-X3000 原产地：日本 发布时间：2021/7/28 17:35:41更新时间：2024/12/2 11:48:29
产品完善度： 访问次数：1000
企业档案
会员类型：初级版会员
已获得易推广信誉 等级评定
(0 -40)基础信誉积累，可浏览访问
(41-90)良好信誉积累，可接洽商谈
(91+ )优质信誉积累，可持续信赖
易推广初级版会员：6年
工商认证 【已认证】
最后认证时间：
注册号： 【已认证】
法人代表： 【已认证】
企业类型：代理商 【已认证】
注册资金：人民币1080万 【已认证】
产品数：446
参观次数：739092
手机网站：http://m.yituig.com/c143096/
商铺地址：http://www.lxyee.net
光刻机&3D打印机
- 德国Nnaoscrib
- 德国Heidelberg
- 德国Zeiss
- 德国Eulitha
- 瑞士Swisslitho AG
- 瑞典Mycronic
- 英国Durham
- 英国Nanobean
- NanoArch
- 德国SUSS
- 德国ParcanNano 百及纳米针尖电子束光刻系统
- 英国AML晶圆键合机
- 瑞士 NnaoFrazor 光刻机
- 激光微加工设备
- 奥地利EVG紫外纳米压印系统
- 尼康Nikon光刻机
- Elinoix 电子束光刻机
- 纳米压印机
- 中科院
- 美国Coherrent
- 俄罗斯Optosystem
- China
- 美国OAI
- 美国Photonics
- 美国Sonoplot
镀膜沉积机
- 德国Iplas
- 德国Sentech
- 英国HHV
- 英国Oxford
- 英国Denton
- 芬兰Picosun
- 美国Nano-master
- 法国Iplas
- 美国TED Pella
- 荷兰 TSST
- 美国Denton Vacuum
- 英国Quorum涡轮分子泵抽真空镀膜仪
- 德国MBE-Komponenten 分子束外延系统
- 美国Neocera
- 日立Hitachi
- 英国Oxford Vacuum
- 法国Plassys
- 美Arradiance
离子刻蚀与沉积
匀胶涂覆机
半导体辅助设备
半导体微纳检测仪器
- 德国Zeiss扫描电镜
- 德国KSI超声波扫描显微镜
- 德国Mecwins扫描式激光分析仪
- 美国Nanovea三维表面形貌仪
- 德国Sentech薄膜测量仪/光伏测量仪
- 德国Klocke Nanotech 3D纳米级三维测量仪
- 德国YXLON 高分辨率Ｘ射线检测设备
- 瑞士Nanosurf 原子力显微镜
- 日本Ribm原子力显微镜
- 日本AND粒子计数器
- 日本JEOL显微镜
- 德国Bruker光谱仪/显微镜/台阶仪
- 韩国Ecopia美国MMR霍尔效应测试仪
- 探针台
- 美国Sonix超声波扫描显微镜
- 美Royce拉力性能测试及芯片拾取放置
- 美国Filmetrics膜厚测量仪
- 美国RTI自动特性图示仪
- 美国TEX Keithley半导体参数分析仪
- 美国MMR霍尔效应测量仪
- X 射线多晶衍射仪
- XRD X射线衍射仪
- FEI扫描电镜Thermo光谱仪
- 纳米压痕仪
- 少子寿命测试仪
- 德国neaspec纳米级红外光谱仪
实验检测仪器
- 电子元器件水份分析仪
- 德YXLON CT检测
- ADLEMA 检漏机
- Rion 液体光学颗粒度仪
- 粒子碰撞噪声检测仪
- 德国Attocube 显微镜
- LakeShore 振动样品磁强计
- 英Glovebox 手套箱
- 美OAI 光功率计
- 智能型氦液化器
- 美Microsense 磁克尔效应测量系统
- nanosc 高精度铁磁共振仪
- 法Alyxan 高分辨质子传递反应质谱
- 振动样品磁强计
- 超精细多功能无液氦低温光学恒温器
- 日本Tohuko 超高灵敏度材料氧化分析仪
- 纳米压痕仪
- Thorlabs傅立叶红外光谱仪
- 光功率计
- 光学式坐标测量仪
- 氟油检漏仪
- 接触角测量仪
- 美Associated 耐压测试仪
- 德国Moeller 测角仪
- 德国耐驰Netzsch
- Bruker 手持拉曼光谱仪
- Super-ME-II多铁性磁电测量系统
- 德Attocube低温强磁场原子力/磁力显微镜
- OptoCool 超精准全开放强磁场低温光学研究平台
- Neaspec 德国真空太赫兹近场光学显微镜
- 纽迈核磁共振分业析
- Oxford pulsar 实验室智能核磁共振波谱仪
- DynaCool 全新一代完全无液氦综合物性测量系统
- Anasazi 科研用小型无液氦核磁共振波谱仪
- MPMS3最新一代磁学测量系统
- PPMS 综合物性测量系统
紫外清洗等离子清洗机
- 美Harrich 等离子清洗机
- 德Diener 等离子清洗机
- 德PVA Tepla 微波等离子清洗机
- 美Nano-master 晶圆清洗机
- 美国Novascon UV清洗机
- 美国UVOCS UV清洗机
- 美国Jelight UV清洗机
- 日本SEN 紫外UV清洗机UV灯
- 美国Uvitron全功能紫外面光源
- 蓝星宇UV清洗机
太阳能检测仪
德国YXLON 检测仪
德国Netzsch
Rion 液体光学颗粒度仪
液体光学颗粒度仪
奥地利EVG光刻杨键合机压印机
尼康Nikon光刻机
德国Lecia 切片掩膜一体机
日本Elionix
化学开封机 / 激光开封机
光刻胶/硅片
半导体辅助工艺/光刻胶
日立Hitachi
UV灯
详细内容
KEYENCE 基恩士 形状测量激光显微系统全新 VK-X3000
.png)
.png)
超越激光显微镜的限制，以三重扫描方式应对
一台即可测量纳米 / 微米 / 毫米
三重扫描方式
一台设备可使用激光共聚焦、聚焦变化、白光干涉等三种不同的扫描原理。根据样品工件的材料、形状和测量范围选择适合的扫描方式，进行高精度测量。
一台即可了解希望获取的信息
292 种分析工具
测量软件不仅可以测量高度或尺寸，还能通过多样的分析工具按照用户的想法实现进一步的分析。
.png)
激光显微系统的基本特点
.png)
.png)
.png)
.png)
.png)
实现更高一精度
［ 0.1 nm 线性标尺 ］
配备超高精度线性标尺，以 0.1 nm 的高分辨率识别物镜的 Z 位置，从而实现更加细微的凹凸检测。高度测量结果基于符合国家标准的可追溯性系统。
.png)
快 125 Hz 瞬间完成扫描
［ IC ： High Speed Processor 7900 ］
通过深化感应技术，对 X 轴、Y 轴扫描仪进行特别处理，进一步优化测量进程。不仅可以在保证测量精度的同时进行 125 Hz 的面测量，还能在瞬间得
到数值和波形的线测量中实现高 7900 Hz 的样品测量 。
.png)
如实捕捉形状和大小的光学设计
［ 远心镜头 ］
VK-X3000 使用连画面边缘都少有失真的远心镜头，可在整个视野内进行高精度测量。因为可以如实捕捉目标物的形状和大小，所以在画面内能实现
高测量精度。
.png)
可获取高可靠性的原始数据
［ 超高灵敏度光电倍增器实现 16 bit 感应 ］
对于捕捉激光反射进行测量的激光显微镜来说，如何接收激光并将其识别为高度信息是十分重要的。VK-X 采用光电倍增器作为接收激光的元件，成功
地以 16 bit 的高分辨率进行感应。
.png)
准确读取反射率不同的复合材料
［ 16 bit（65536 灰度）处理 ］
测量数据以 16 bit（65536 灰度）进行处理，以往难以看清的细微的颜色和明暗差异都可以如实地反映出来。
.png)
陡角也可准确测量
［ 基恩士传统产品 16 倍的动态量程 ］
从微弱的激光反射到强烈的激光反射都能一次接收，并以基恩士传统激光显微镜 16 倍的灵敏度进行处理。对于具有陡角或复杂形状等以往难以测量的
样品，或低倍率的测量等也可准确执行。
.png)
扫描的上下限设定不会出错
［ 自动上下限设定 ］
通过光接收量识别焦点位置。从该位置向下限方向移动，将正好位于光接收量检测界限以下时的位置设定为下限。然后向上方移动，将再次位于光接收
量检测界限以下时的位置判定为上限。通过这种方法识别并设定样品的上下限，操作十分简单，可以防止人为设定偏差。
.png)
检测焦点位置并瞬间进行自动调整
［ 激光自动对焦 ］
由于干涉镜头对于反射率低的样品工件干涉信号会变低，所以观察画面难以对焦是一个难点。本次配备了可以高速扫描的激光和高灵敏度的检测器，能
够瞬间确定焦点位置，还可自动向 Z 方向进行调整。
.png)
可检测倾斜状态并轻松进行调整
［ 消零辅助功能 ］
干涉仪的样品工件倾斜调整需要以条纹为参照，肉眼确认倾斜状态，并反复进行调整作业，直至工件处于水平状态。此外，由于该作业事倾斜调整目
标不明，所以进行“是否真的水平”这一艰难判断也是强人所难。消零辅助功能则可以检测工件的倾斜，并自动计算调整干涉条纹所需的补正角度。调整可以了解操作的程度，因此能够轻松、准确、快速地进行调整。
.png)
能够放心托付的全自动测量AI-Scan
.png)
准确检测反射光量并进行扫描［ RPDII 算法 ］
.png)
自动调整光接收量，难以测量的表面状态也可支持
［ AAG Ⅱ算法 ］AAG=Advanced Auto Gain
.png)
扫描条件增加到 2 条以测量复杂形状［ 双扫描 ］
.png)
支持三重扫描方式的测量原理
.png)
以激光检测反射光量和高度
激光光源为点光源，因此通过 X-Y 扫描光学系统扫描观察视野内，用受光元件检测各像素的反射光。在 Z 轴方向上驱动物镜，反复扫描
以获取各像素在每个 Z 轴位置上的反射光量。以反射光量高的 Z 轴位置为焦点，检测高度信息和反射光量。由此可以获取聚焦于整体
的光量超深度图像和高低图像（信息）。
通过 CMOS 相机获取颜色信息
另一方面，白色光源的反射光由彩色 CMOS 相机检测。每个像素都获取激光光源所检测焦点位置的颜色信息，因此实现了 SEM 难以做
到的真实彩色观察
［ 何谓激光共聚焦…… ］
确定反射光量多的 Z 位置
如图所示，同一平面（1024 × 768 像素）中的各像素取得每个 Z 轴位置（Z 位置）的反射光量信息（强度），获取反射光量高的 Z 轴位置（= 焦
点位置）或此时的反射光量、颜色信息。基于这些信息构建“彩色超深度”、“光量超深度”、“高低”这 3 种图像数据。
.png)
针孔排除环境光
在使用 CMOS 等作为受光元件的拟共聚焦光学系统中，因为来自焦点位置以外的反射光和对相邻像素的环境光等的影响，难以实现高精度测量和高分
辨率观察。激光共聚焦光学系统完全排除来自焦点位置以外的反射光，实现了高精度测量和高分辨率观察。
.png)
［ 何谓聚焦变化…… ］
以基于景深决定的适合的移动间距从下往上移动物镜，同时检测 560 万像素高精细彩色 C-MOS 相机捕捉到的高画质图像的焦点变化（影像的散焦情
况），从而求出聚焦位置的 3D 测量方式。聚焦于目标物的影像在比较相邻像素亮度时，亮度差会因影像的明暗而变大。而在没有聚焦的影像中，相邻的黑色和白色亮度差会变小。因此，通过记录亮度差大时的镜头位置，可以记录目标物的“高度信息”。此外，物镜的位置信息受到内置线性标尺（测长
器）的监控，因此可以更加准确地获得观察目标的“高度信息”。在对观察的目标物进行 3D 测量的同时，通过将聚焦于部分影像的图像重叠起来，可
以合成聚焦于整体的观察图像。
.png)
［ 何谓白光干涉…… ］
通过 CMOS 元件等视觉传感器观测光的干涉图样，从而求出三维形状的测量方法。使用内置基准平面镜（参照面）的干涉物镜，将白色 LED 等白色
光照射到基准平面镜（参照面）和目标物（测量面）上。这样一来，通过使各个反射光相互干涉，以基准平面镜为基准，目标物面的形状变成每个高
1/2 波长的等高线，出现干涉条纹。用 560 万像素的高精细彩色 C-MOS 相机捕捉该干涉条纹，通过电脑处理求出干涉条纹强度大的点，测量凹凸。
.png)
一台即可了解希望获取的信息包含 292 种分析工具
.png)
热门标签：KEYENCE 基恩士 形状测量激光显微系统VK-X3000
