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深圳市蓝星宇电子科技有限公司 主营产品:光刻机,真空镀膜机,离子刻蚀机,,半导体辅助材料,半导体微纳检测仪器,太阳能吸收率发射击队率检测仪,,实验检测仪器设备,紫外线UV光清洗机UV灯.

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德国MBE-Komponenten 分子束外延系统

价格:¥电议

品牌名称:$brandModel.Title(进口品牌)型号:OCTOPLUS 400 原产地:欧洲 发布时间:2022/3/13 16:22:30更新时间:2024/12/24 10:13:17

产品摘要:日本Rion液体光学颗粒度仪KS-19F,宽广的测试范围,可测试 0.03~0.13um 之间的颗粒只需要小小的样品取样量就可以得到高效率高精准的颗粒数据。OCTOPLUS 400 是一款通用型MBE系统,非常适合于III/V族, II/VI族,及其他复合半导体材料应用。兼容2-4英寸标准晶片。竖直分割式腔体设计,可以装配各种源炉,实现不同材料分子束外延生长。

产品完善度: 访问次数:200

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详细内容

德国MBE-Komponenten 分子束外延系统OCTOPLUS 400


 

OCTOPLUS 400分子束外延是一款通用型MBE系统,非常适合于III/V族, II/VI族,及其他复合半导体材料应用。兼容2-4英寸标准晶片。竖直分割式腔体设计,可以装配各种源炉,实现不同材料分子束外延生长。


 

系统特点:

● 用于研发的普适性MBE系统

● 应用于III/V族, II/VI族材料外延生长

● 适用于2-4英寸样品

● 8个标准的CF法兰孔(根据要求可以拓展到10个)

● 可以升和选配实现系统扩展

● 原位生长表征

● 易于使用和方便维护


 

可以根据所有客户的要求,提供不同种类的蒸发源,包括K-cell电子束蒸发源热裂解源阀式裂解源气体裂解源等。可以使用石英晶振,反射式高能电子衍射仪(RHEED)或者四杆质谱仪实现样品生长的原位监测。 EpiSoft MBE软件可以精确控制所有的挡板,蒸发源源和样品台加热器温度。大程度确保了操作的重复性。

Oclus 400的主要特点是高的可靠性和普适性,以及其占地空间小。这些特点使得我们的系统非常适合于研发。

标准的Oclus 400有8个4.5’’(CF63)法兰口,可以根据需求拓展到10个法兰口。快速进样室(Loading Chamber)配有高精度磁力传输样品杆,可以在不破坏MBE腔室真空的提下进行快速样品传输。

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