德国UnitemP真空快速退火炉RTP-150, 单晶圆，150mm，快升温速率可达150K/s

· 6”单晶圆
· 升温速率可达到150K/s
· 7“液晶触控面板操作
· SPS SIMATIC 软件控制
· 真空度可达10^-3hPa
· MFC 控制

 

特点

· 精确控制快速升降温速率

· 优异的温度均匀性

· 可升4 路工艺气体（MFC）

· 集成数据存储

· 红外卤素灯加热

· 不少于50 个可编程序，50 步

· 小型化设计

应用

· 离子注入退火与电合金化

· RTP, RTA, RTO, RTN

· 不同气氛下退火，氧气、氮气等常见气体

· SiAu，SiAl，SiMo 合金化

· 低k 电介质

· 晶相化和坚化、、、

德国RTP-150 真空快速退火炉 

技术参数:

样品尺寸: 150mm 直径

高温度: 1200℃

温度均匀性: ≤1.5% @设定温度

升温速率: 升温速率

降温速率: T=1000℃→400℃:200K/min，T=400℃→100℃：30K/min

真空度:  可达10^-3hPa

样品室材质： 石英玻璃腔体带通用石英载物台

样品室高度： 18mm 134×169×18mm

工艺室尺寸：（W×D×H）

加热方式：24只红外卤素灯（21kW）上下排列加热

工艺气体：MFC 控制（ 氮气5nlm）

 控制系统：SIMATIC，50 个可编程序，50 个步

样品室冷却：水冷静

基片冷却：气冷

设备：

设备尺寸：505mm×525（700）mm×570mm（W×D×H）

重量：55kg

水电：CEE 3×32A, 230V, 3~ + N + PE,

选配：

1. RTP-H2：氢气气路含安全装置（传感器和氢气检测器）
2. RTP-H2S：硫化氢气路含安全装置（防护罩和传感器）
3. RTP-MFC：其他工艺气路，MFC 控制，多4 路
4. RTP-OxAtAn：氧气分析仪用以测量氧气残余
5. RTP-MM： 湿度分析仪用以检测样品室湿度
6. RTP-SW： 开关箱
7. RTP-TC： 额外的热电偶

8. RTP-VAC I： 真空测量系统，本底真空到3hPa，真空规，真空阀，不包含真空泵。
9. RTP-VAC II：真空测量系统，适用真空到10^-3hPa，皮拉尼真空规，真空阀，不包含真空泵。
10. RTP-VCR：VCR 管（焊接）

附件：

1. RTP-GP-150：石墨托盘or 适配器（选配：SiC 涂层）
2. RTP-GP-100：石墨托盘or 适配器（选配：SiC 涂层）
3. RTP-QR-50：50mm 晶圆基座（石英）
4. RTP-QR-75：75mm 晶圆基座（石英）
5. MP：隔膜泵，真空：3hPa
6. RVP：旋片泵or 干泵，真空：10-3hPa

RTP-150 的实际温度曲线