SUSS光刻机用曝光灯HBO系列
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品牌名称：$brandModel.Title(进口品牌)型号：HBO350W/S，HBO5000W/S,HBO200W/DC,HBO1000W/D 原产地：中国大陆 发布时间：2023/5/24 9:24:36更新时间：2024/12/24 10:15:23
产品摘要：SUSS苏斯/休斯，EVG, OAI等系列光刻机用曝光灯HBO系列，SUSS苏斯，EVG, OAI公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机，目得到业界的广泛认同，该系列光刻机曝光系统的曝光灯，主要是由德国欧司朗及日本牛尾公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗/牛尾曝光灯系列，具备良好的光通量，稳定的光强度以及优质的品质受到业界的青睐。
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详细内容
SUSS苏斯/休斯，EVG, OAI等系列光刻机用曝光灯HBO系列，
SUSS苏斯，EVG, OAI公司生产的半导体和太阳能行业用光刻机，目得到业界的广泛认同，该系列光刻机曝光系统的曝光灯，主要是由德国欧司朗及日本牛尾公司生产的曝光灯进行配套供应。欧司朗/牛尾曝光灯系列，具备良好的光通量，稳定的光强度以及优质的品质受到业界的青睐。目供苏斯光刻机配套的相关参数如下：
HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography
适用SUSS苏斯光刻机型的曝光灯
灯管型号 寿命（H） 适用SUSS苏斯光刻机型
HBO 200W/DC 1000H MJB3, MJB4
HBO 350W/S 600H MA4, MA6, MA/BA6,MA8, MA150, MJB3, MJB21,UV300/500
HBO 1000W/D 1000H MA150,MA200,MA4,MA6, MA/BA6,MA8
HBO 5000W/S 1000H MA300
以下是欧司朗曝光灯的技术参数,适用于SUSS苏斯，EVG, OAI等光刻机：
