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微波等离子化学气相沉积系统

CYRANNUS®微波等离子化学气相沉积系统

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价格：￥4980000

型号：CYRANNUS® 原产地：欧洲发布时间：2024/3/9 17:42:47更新时间：2024/12/24 10:15:24

产品摘要：德国IPLAS MPCVD CYRANNUS® 利技术微波等离子化学气相沉积系统，广泛应用于第四代半导体，射频器件，散热器件，光学窗口等高科技令域，晶圆生长金刚石膜，被誉为半导体终材料。

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德国IPLAS MPCVD CYRANNUS® 利技术，微波等离子化学气相沉积

第四代半导体，热沉器件，光学窗口

Iplas公司与1997 年在德国科隆由Hildegard Sung-Spitzl博士及其丈夫Ralf Spitzl博士建立。两位创世人在基础物理和应用物理域具有渊博的知识，并在等离子技术域具有深厚的研究开发经验。

Ralf Spitzl 博士至已有逾三十多年的等离子物理研究经历，Ralf Spitzl 博士于 1996 年发明了CYRANNUS®等离子源，并与 1998 年取得了CYRANNUS®的第一个利。2003 年 Iplas 制造了16" CYRANNUS® I 等离子源，是上大的可在大气压下运行的商用等离子源，同年因其CYRANNUS® 技术的卓越性能，iplas 和美国阿贡国家实验室共同获得 R&D100 奖项。天 Iplas已经拥有等离子技术域的 20 余项利。

金刚石在Ir/YSZ/Si上的异质外延

德国Audiaec公司采用的是德国IPLAS设备，目德国Audiaec与DF公司合并了。

Augsburg Diamond Technology GmbH利用化学气相沉积技术在外源衬底(异质外延)上合成单晶金刚石。同外延的普遍概念是需要适当尺寸的单晶金刚石作为种子，与此相反，我们的新方法采用多层体系Ir/YSZ/Si作为可扩展的衬底。这一创新有助于次在直径达100毫米的圆盘上合成单晶金刚石。