URE-2000/30D型（定制）紫外光刻机

1．技术参数

?曝光面积：4 英寸

?曝光波长 1：365nm 或 405nm（可切换，更换滤光片），

?曝光波长 2：248nm

?曝光位置 1 和曝光位置 2 自动切换

?分辨力：0.8-1?m

?掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸（标准配置，其他尺寸可定做）

?样片尺寸：直径?10mm--?100mm 或者 15mm?15mm-100mm?100mm(标准配置，其他尺寸可定做），可适应厚度为 0.1mm--5mm(可扩展为 15mm)

?曝光方式：定时（倒   计    时方式）

?具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能

?照明不均匀性：3%（?100mm 范围）

?调平接触压力通过传感器保证重复

?数字设定对准间隙和曝光间隙

?掩模相对于样片运动行程：X: 优于?5mm; Y: 优于?5mm;?:优于?6?

?焦厚：400?m（SU8 胶，用户提供检测条件）

?光源平行性：＜3?

?曝光能量密度 1：＞20mW/cm?（365 或 405nm），照明面温度<35?

?曝光能量密度 2：＞3mw/cm?（248nm）

?单层曝光一键完成

?采用球气浮自动找平

?汞灯功率：350W（直流，进口汞灯）

2．外形尺寸：约1400mm（长）?900mm(宽)?1800mm（高）

3．配置设备主要由均匀照明曝光系统、工件台系统、电控系统、气动控制系统及辅助配套设备构成。