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激光剥蚀多通道原子吸收光谱系统LAGM
价格：￥电议
品牌名称：$brandModel.Title(进口品牌)型号： 原产地：日本 发布时间：2024/12/24 15:06:32更新时间：2024/12/24 15:06:32
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详细内容
LAGM 激光剥蚀 GED_多通道原子吸收光谱法系统
300 毫米的晶圆样品可以通过激光烧蚀（LA）电感耦合等离子体质谱法进行分析，无需使用小型封闭腔室。通过 LA 产生的颗粒由喷射器吸入，并通过 GED 引入电感耦合等离子体质谱法。
特点
◆ 飞秒激光和电流计镜能够精确地烧蚀高达 12 英寸（300 毫米）的晶圆。
◆ 无需使用小型封闭腔室即可对晶圆样品进行激光烧蚀，产生的粒子由喷射器吸入，并通过气换装置（GED）引入到电感耦合等离子体质谱仪（ICP-MS）中。
◆ 双注射器模型 MSAG_DS 能够利用标准加入法在干等离子体条件下对 ICP-MS 进行定量分析。
◆ 可进行超微量级的点和面倾斜度分析。
◆ 可进行更深入（> 300 微米）的轮廓和杂质分析。
◆ 两个负载端口从 12 英寸（300 毫米）到 6 英寸（150 毫米）的晶圆，对准器和晶圆传输机器人集成在一起，以实现全自动操作（可选）
◆ 非晶圆采样器可采用替代采样阶段。
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● 采用标准加入法对碳化硅晶圆进行定量分析
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激光干涉测量频率：10 千赫兹，加速度计镜扫描速度：50 毫米/秒，加速度计镜扫描宽度：1 毫米（Y 轴）
晶圆台移动速度：0.025 毫米/秒（X 轴）
电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）数据采集模式：谱图，积分时间：1 秒/质量
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激光束频率：10 千赫兹，电流镜扫描速度：50 毫米/秒，电流镜扫描宽度：5 毫米（Y 轴方向），晶圆台移动速度：0.025 毫米/秒（X 轴）
ICP-MS 数据采集模式：单个纳米颗粒分析，驻留时间：0.1 毫秒/质量，分析时间：60 秒
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LAGM 软件与 ICP-MS 软件进行通信，实现了全自动操作。
- 校准模式：使用 MSAG_DS 获取激光烧蚀样品时的校准曲线。
- 全扫描模式：整个晶圆根据分析时间进行激光剥蚀。LAGM 软件会自动计算 X-Y-Z-θ 平台的移动速度，以使整个晶圆均匀剥蚀。
- 斑点模式：可自动分析多个指定斑点。可导入 KLARF 格式文件中的斑点信息。
- 直线模式：由两个点指定的直线以指定的宽度连续进行分析。
- 块模式：它类似于直线模式，但会以指定的时间对指定大小的块（例如1毫米×1毫米）进行烧蚀。等待一段时间后，烧蚀块旁边的块会被烧蚀。这种模式在空间分辨率方面优于直线模式。
- 深度剖面模式：对指定大小的同一位置进行反复剥蚀，以获取深度剖面信息。在剥蚀一层后可以设置间隔时间，这将使深度剖面的分辨率更高。
- 倾斜模式：晶圆倾斜的多个指定区域能够自动进行分析。
Expert_LA 型号包含两个负载端口，通过为每个晶圆设置配方，能够对晶圆样本进行全自动分析。从其中一个负载端口取出一个样本晶圆，在对晶圆进行分析后，将其放回另一个负载端口。
LAGM 软件控制具有两个特殊注射泵的 MSAG_DS。其中一个注射泵装有 1%的 HNO?3溶液，另一个注射泵装有 1%的 HNO?3混合标准溶液，它们总共以 3 微升/分钟的速度注入，并且两个注射泵的比例会发生变化以进行
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