当前位置：易推广 > 光学仪器 > 光学应用 > 光学平台 > 深圳市蓝星宇电子科技有限公司 > 产品展示 > 德国Raith Voyager 新一代超高分辨率电子束光刻机

德国Raith Voyager 新一代超高分辨率电子束光刻机

点击查看大图

价格：￥电议

型号：原产地：欧洲发布时间：2019/4/23 18:01:01更新时间：2024/12/24 10:10:19

产品摘要：德国Raith Voyager 新一代超高分辨率电子束光刻机,系统可实现8英寸样品的高速曝光。系统的稳定性是非常关键的指标，可保证大面积均匀曝光。该系统外部采用环境屏蔽罩，即使在稍差的实验室环境下，仍然能确保系统具有非常好的热稳定性，提高系统对外界环境的容忍度。

产品完善度：访问次数：2785

企业档案

会员类型：初级版会员

已获得易推广信誉等级评定

14成长值

(0 -40)基础信誉积累，可浏览访问

(41-90)良好信誉积累，可接洽商谈

(91+ )优质信誉积累，可持续信赖

易推广初级版会员：6年

工商认证【已认证】

最后认证时间：

注册号：【已认证】

法人代表：【已认证】

企业类型：代理商【已认证】

注册资金：人民币1080万【已认证】

产品数：471

参观次数：748897

手机网站：http://m.yituig.com/c143096/

商铺地址：http://www.lxyee.net

产品分类

光刻机&3D打印机

镀膜沉积机

离子刻蚀与沉积

匀胶涂覆机

半导体辅助设备

半导体微纳检测仪器

实验检测仪器

紫外清洗等离子清洗机

太阳能检测仪

德国YXLON 检测仪

德国Netzsch

Netzsch差示扫描量热仪

Rion 液体光学颗粒度仪

液体光学颗粒度仪

Rion 液体光学颗粒度仪

奥地利EVG光刻杨键合机压印机

尼康Nikon光刻机

德国Lecia 切片掩膜一体机

日本Elionix

化学开封机 / 激光开封机

光刻胶/硅片

半导体辅助工艺/光刻胶

光刻胶-导电胶

日立Hitachi

UV灯

详细内容

德国Raith Voyager 新一代超高分辨率电子束光刻机
编号：Raith
功率：
芯片数量：

详细介绍

Voyager 新一代电子束光刻系统

高速且价格合理的电子束光刻机实现精确的曝光效果

对于工业界和学术界所有关注速度和高分辨的电子束曝光应用，我们推荐您选择VOYAGERTM这款专业电子束光刻系统。

Raith非常重视这款具有吸引力的在使用寿命期间具有高性价比、新开发的、创新的eWRITE体系结构。

系统的硬件和软件被一致设计为自动曝光操作，的高性能图形发生器和电子光学系统优化设计并协同一致。

系统可实现8英寸样品的高速曝光。系统的稳定性是非常关键的指标，可保证大面积均匀曝光。该系统外部采用环境屏蔽罩，即使在稍差的实验室环境下，仍然能确保系统具有非常好的热稳定性，提高系统对外界环境的容忍度。

超高分辨率曝光系统

00001. 从*初设计到样品制备完成，实现高速样品加工，提高产量

00002. 智能设计：设备占地面积小，且集成环境屏蔽罩

00003. 创新的、未来安全型系统架构

00004. 专业的电子束曝光系统，可实现每小时1cm2的高速曝光，高性价比

eWrite技术

Raith新推出的eWrite技术结合了专业电子束光刻的光学系统和创新的图形发生器设计，该技术适用于研发及批量生产的所有工作。

VOYAGER 应用

· HSQ胶上制作亚7nm线条

· SU8胶上制作 1x1 cm² 菲涅尔透镜，曝光时间为53分钟，图为菲涅尔透镜中心区域

· PMMA双层胶上制作150nm T型栅结构

· ZEP520胶上制作 1x1 cm²光栅结构，曝光时间小于2小时

· 高速度模式（40nA束电流下曝光160um大结构）和高分辨模式（0.4nA束电流下曝光10nm细小结构）自动切换

· ZEP520胶上制作光子晶体波导结构

VOYAGER 产品详情

主要应用:

· 高速直写

· 衍射光学元件

· 防伪元件

· 批量加工化合物半导体器件

样品台:

· 6“ 移动范围

· Z方向移动范围大

电子枪技术:

· eWrite

· 电子

· 50 kV

独特直写模式:

· traxx 长线条无写场拼接曝光模式

· periodixx周期结构无写场拼接曝光模式

返回顶部

点击询价

联系方式

产品展示

德国Raith Voyager 新一代超高分辨率电子束光刻机

点击查看大图