德国 Sentech 等离子沉积机
价格：￥电议
品牌名称：$brandModel.Title(进口品牌)型号：SI 500 D 原产地：欧洲 发布时间：2019/8/27 18:04:42更新时间：2024/11/27 1:30:25
产品完善度： 访问次数：611
企业档案
会员类型：初级版会员
已获得易推广信誉 等级评定
(0 -40)基础信誉积累，可浏览访问
(41-90)良好信誉积累，可接洽商谈
(91+ )优质信誉积累，可持续信赖
易推广初级版会员：6年
工商认证 【已认证】
最后认证时间：
注册号： 【已认证】
法人代表： 【已认证】
企业类型：代理商 【已认证】
注册资金：人民币1080万 【已认证】
产品数：446
参观次数：738242
手机网站：http://m.yituig.com/c143096/
商铺地址：http://www.lxyee.net
光刻机&3D打印机
- 德国Nnaoscrib
- 德国Heidelberg
- 德国Zeiss
- 德国Eulitha
- 瑞士Swisslitho AG
- 瑞典Mycronic
- 英国Durham
- 英国Nanobean
- NanoArch
- 德国SUSS
- 德国ParcanNano 百及纳米针尖电子束光刻系统
- 英国AML晶圆键合机
- 瑞士 NnaoFrazor 光刻机
- 激光微加工设备
- 奥地利EVG紫外纳米压印系统
- 尼康Nikon光刻机
- Elinoix 电子束光刻机
- 纳米压印机
- 中科院
- 美国Coherrent
- 俄罗斯Optosystem
- China
- 美国OAI
- 美国Photonics
- 美国Sonoplot
镀膜沉积机
- 德国Iplas
- 德国Sentech
- 英国HHV
- 英国Oxford
- 英国Denton
- 芬兰Picosun
- 美国Nano-master
- 法国Iplas
- 美国TED Pella
- 荷兰 TSST
- 美国Denton Vacuum
- 英国Quorum涡轮分子泵抽真空镀膜仪
- 德国MBE-Komponenten 分子束外延系统
- 美国Neocera
- 日立Hitachi
- 英国Oxford Vacuum
- 法国Plassys
- 美Arradiance
离子刻蚀与沉积
匀胶涂覆机
半导体辅助设备
半导体微纳检测仪器
- 德国Zeiss扫描电镜
- 德国KSI超声波扫描显微镜
- 德国Mecwins扫描式激光分析仪
- 美国Nanovea三维表面形貌仪
- 德国Sentech薄膜测量仪/光伏测量仪
- 德国Klocke Nanotech 3D纳米级三维测量仪
- 德国YXLON 高分辨率Ｘ射线检测设备
- 瑞士Nanosurf 原子力显微镜
- 日本Ribm原子力显微镜
- 日本AND粒子计数器
- 日本JEOL显微镜
- 德国Bruker光谱仪/显微镜/台阶仪
- 韩国Ecopia美国MMR霍尔效应测试仪
- 探针台
- 美国Sonix超声波扫描显微镜
- 美Royce拉力性能测试及芯片拾取放置
- 美国Filmetrics膜厚测量仪
- 美国RTI自动特性图示仪
- 美国TEX Keithley半导体参数分析仪
- 美国MMR霍尔效应测量仪
- X 射线多晶衍射仪
- XRD X射线衍射仪
- FEI扫描电镜Thermo光谱仪
- 纳米压痕仪
- 少子寿命测试仪
- 德国neaspec纳米级红外光谱仪
实验检测仪器
- 电子元器件水份分析仪
- 德YXLON CT检测
- ADLEMA 检漏机
- Rion 液体光学颗粒度仪
- 粒子碰撞噪声检测仪
- 德国Attocube 显微镜
- LakeShore 振动样品磁强计
- 英Glovebox 手套箱
- 美OAI 光功率计
- 智能型氦液化器
- 美Microsense 磁克尔效应测量系统
- nanosc 高精度铁磁共振仪
- 法Alyxan 高分辨质子传递反应质谱
- 振动样品磁强计
- 超精细多功能无液氦低温光学恒温器
- 日本Tohuko 超高灵敏度材料氧化分析仪
- 纳米压痕仪
- Thorlabs傅立叶红外光谱仪
- 光功率计
- 光学式坐标测量仪
- 氟油检漏仪
- 接触角测量仪
- 美Associated 耐压测试仪
- 德国Moeller 测角仪
- 德国耐驰Netzsch
- Bruker 手持拉曼光谱仪
- Super-ME-II多铁性磁电测量系统
- 德Attocube低温强磁场原子力/磁力显微镜
- OptoCool 超精准全开放强磁场低温光学研究平台
- Neaspec 德国真空太赫兹近场光学显微镜
- 纽迈核磁共振分业析
- Oxford pulsar 实验室智能核磁共振波谱仪
- DynaCool 全新一代完全无液氦综合物性测量系统
- Anasazi 科研用小型无液氦核磁共振波谱仪
- MPMS3最新一代磁学测量系统
- PPMS 综合物性测量系统
紫外清洗等离子清洗机
- 美Harrich 等离子清洗机
- 德Diener 等离子清洗机
- 德PVA Tepla 微波等离子清洗机
- 美Nano-master 晶圆清洗机
- 美国Novascon UV清洗机
- 美国UVOCS UV清洗机
- 美国Jelight UV清洗机
- 日本SEN 紫外UV清洗机UV灯
- 美国Uvitron全功能紫外面光源
- 蓝星宇UV清洗机
太阳能检测仪
德国YXLON 检测仪
德国Netzsch
Rion 液体光学颗粒度仪
液体光学颗粒度仪
奥地利EVG光刻杨键合机压印机
尼康Nikon光刻机
德国Lecia 切片掩膜一体机
日本Elionix
化学开封机 / 激光开封机
光刻胶/硅片
半导体辅助工艺/光刻胶
日立Hitachi
UV灯
详细内容
德国 Sentech SI 500 D 等离子沉积机：
超高密度等离子体
SI 500D 具有特殊的等离子体特性，如高密度、低离子能量和介质膜的低压沉积。
平面等离子体源
森泰克利的平面三螺旋天线(PTSA)等离子体源允许高效率低功率耦合。
杰出的沉积特性
低腐蚀速率、高击穿电压、低应力、基体无损伤、界面状态密度低，沉积温度小于100℃，使沉积薄膜具有优异的性能。
动态温度控制
采用动态温度控制的基片电，结合He背面冷却和基片背面温度传感，在室温至+350℃的大范围温度范围内，提供优良的稳定工艺条件。
SI 500d代表了等离子体增强化学气相沉积介电薄膜、a-Si、SiC和其他材料的沿。它基于PTSA等离子体源，反应气体分离气体入口，动态控温基片电，全控真空系统，采用远程现场总线技术的森泰克控制软件，以及一个非常友好的通用用户界面来操作SI 500d。
从直径200毫米的晶圆片到负载在载体上的各种基板，都可以在SI 500 d中进行加工。
SI 500d等离子体增强沉积工具可在室温至350℃范围内沉积SiO2、SiNx、SiONx和a- SI薄膜。溶液可用来沉积TEOS、SiC和其他具有液体或气体驱体的材料。s500d特别适用于有机材料在低温下沉积高效的保护屏障，以及在规定温度下无损伤沉积钝化膜。
森泰科提供不同的自动化水平，从真空盒式磁带加载到一个过程室，多达六个端口集群，具有不同的沉积和蚀刻模块，目标是高灵活性或高吞吐量。SI 500d也可以作为集群配置上的进程模块。
SI 500 D
ICPECVD等离子体沉积工具
与真空loadlock
高达200毫米晶圆
衬底温度从RT到350℃
激光端点检测
可选的衬底偏置
