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紫外单面光刻机

URE-2000A紫外单面光刻机

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价格：￥电议

型号：URE-2000A 原产地：中国大陆发布时间：2019/8/28 17:29:26更新时间：2024/11/27 1:30:26

产品摘要：URE-2000A 型紫外单面光刻机，中科院设计生产，曝光面积：150mmX150mm

产品完善度：访问次数：391

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详细内容

URE-2000A 型紫外单面光刻机

1．技术参数
 曝光面积：150mmX150mm
 曝光波长：365nm
 分辨力：0.8-1m（胶厚 2 m 的正胶）
 对准精度：0. 6m  掩模样片整体运动范围：X：15mm;Y:15mm
 掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸
 样片尺寸：直径 15mm－－ 150mm（各种不规则片）
厚度 0.1mm－－5mm(可拓展至 15mm)
 曝光方式：定时（倒计时方式），0.1s-9999s
 具备真空接触曝光、硬接触曝光、压力接触曝光，以及接近式曝光四种功能
 照明不均匀性： 2.5%（100mm 范围） 5%（150mm 范围）
 双目双视场对准显微镜：既可通过目镜目视对准，也可通过 CCD+显示器对准，光学合像，光学大倍数 400倍，
光学+电子放大 800 倍
物镜三对：4 倍、10 倍、20 倍
目镜三对：10 倍、16 倍、20 倍
 调平接触压力通过传感器保证重复
 数字设定对准间隙和曝光间隙
 具备压印模块接口，也具备接近模块接口
 掩模相对于样片运动行程：
X: 5mm; Y: 5mm; : 6 度  大胶厚：500m(SU8 胶)  光源平行性：1.2°  曝光能量密度：>18mW/cm2
 冷却方式：循环水+风冷
 曝光面温度：<30°C  汞灯功率：1000W（直流，进口

2．外形尺寸：1400mm（长）1200mm(宽) 1950mm（高）

3．配置

（1）曝光头
 冷光椭球镜
 1000W 进口直流高压汞灯(德国欧司朗,长寿命型)  XYZ 汞灯调节台
 冷却风扇
 光学系统：固定光栏、可变光栏、快门、准直镜镜 1、准直镜镜 2、蝇眼透镜组（109 个透镜）、i 线滤光片、场镜
1、场镜 2、冷光反射镜 1、反射镜 2  循环水冷系统

（2）对准工件台
 掩模样片整体运动台
 掩模样片相对运动台
 转动台
 样片调平机构,自动完成
 样片调焦机构，自动调
 承片台 4 个（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）
 掩模夹 4 个（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）
 基片抽拉式上下片机构

（3）对准显微镜
 光源（配备品 2 只）、电源
 双目双视场对准显微镜主体
 目镜 3 对（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 个）
 物镜 3 对（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 个）

（4）CCD 对准系统(选配)  光源（配备品 3 只）、电源
 成像光学系统（两套）
 数据采集卡
 三维工件台（两套）
 CCD（2 只）

（5）电控系统
 汞灯触发电源(1000W 直流汞灯)  单片机控制系统
 控制柜桌
 计算机系统及液晶显示器

（6）气动系统
 气缸、电磁阀、减压阀、气动开关等
 电磁阀驱动
 气动仪表

（7）其他附件
 真空泵一台（无油泵）
 空压机一台（静音泵）
 管道

（8）技术资料
 使用维修说明书
 显微镜使用说明书

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