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生产线型原子层沉积机

P-300S生产线型原子层沉积机

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价格：￥电议

型号：P-300S 原产地：欧洲发布时间：2019/9/11 22:43:52更新时间：2024/12/24 10:10:32

产品摘要：P-300S 生产线型原子层沉积机,300mm晶圆/单片,25片晶圆盒对盒式全自动装载（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM™ 300集群系统实现,尺寸：(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm

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商铺地址：http://www.lxyee.net

产品分类

详细内容

P-300S 生产线型原子层沉积机

详细介绍

PICOSUN P-300S Pro ALD

技术参数

衬底尺寸和类型 ：300mm晶圆/单片

工艺温度： 50 - 500 °C

基片传送选件：。 半自动装载，用单片Load lock与磁力操纵杆实现
。25片晶圆盒对盒式全自动装载（cassette-to-cassette），用PICOPLATFORM™ 300集群系统实现

标准：SEMI S2认证

前驱体：。液态，固态，气态，臭氧源
。等离子体（仅供200mm晶圆使用，*多4路气体）
。前驱源余量传感器，并提供清洗和装源服务
。6条独立源管线,*多加载8个前驱体源（*多12个前驱体源，加上plasma管路共7根独立源管线）

重量：820 kg

尺寸：(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm

选件： 集群工具，PICOFLOW™扩散增强，N2发生器，尾气处理，定制设计，与工厂软件连接服务。

验收标准 ：。标准设备验收标准为Al2O3工艺，
。其他工艺可具体协商：其他工艺、应用具体验收标准如：
- 不均匀性
- 颗粒物含量
- 重金属污染
- 电学性能

PICOSUN高产量的批量型工业用ALD系统

各种的批量产品装载及自动化选项ALD技术可以覆盖各种形状、各种表面的样品，可以覆盖*细小的地方，*难到达的地方。具有高度的保形性、均一性及100%无针孔。这使得ALD可以应用于各种行业里，实现各种表面的保护。ALD薄膜可以附着在各种表面上，例如金属，玻璃，塑料，乃至纤维及粉末。作为气相、低温的沉积技术，ALD薄膜可以生长在非常敏感的表面上，例如聚合物薄膜。

今天，Picosun的ALD技术应用在钟表部件、珠宝、硬币上进行防着色，防腐蚀的装饰涂层。在生物植入医疗部件上的生物兼容、生物活性涂层。致密、惰性、密封、弹性、透明的ALD薄膜技术挑战传统的膜生长方式。在PCB防腐蚀保护、防摩损等领域，ALD层大大提升了部件的质量、可靠性及寿命。

D 应用

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