适合研究开发需求的多功能系统平台

             ATS 500                                                                                           AUTO 500

Auto500是一套多功能的真空镀膜系统平台，主要用于科学研究、技术开发或试生产。其真空腔室采用了开门的箱式设计，可以容纳大尺寸样品。通过可选择的设备配置能分别实现热阻蒸发、电子束蒸发及磁控溅射等各种物理气相沉积工艺，甚至也可以将面三种镀膜工艺同时组合在一台设备里。
真空腔室安放在内部装载有真空泵系统的基座上。系统的真空系统由触摸屏操作显示的PLC自动控制。PLC显示操作面板以及其他工艺附件的控制面板都集中安装在真空腔室旁边的19”标准控制机柜上，操作十分方便。
 

Auto500既可以只配置单个镀膜源，也可以配置成多个不同的镀膜源，其工艺配置灵活性非常高，并且也很容易进行现场升。 
Auto500还可以配置一系列样品承载台，可实现样品旋转、倾斜、加热、冷却、偏压等。 
真空系统可选无油干泵、分子泵及低温冷凝泵等。

ATS500系统配置触摸屏控制方式和分子泵高真空系统。

ATS500系统为复杂薄膜应用而设计，配合不同工艺附件适用于不同应用。

真空及控制系统：

触摸屏控制系统集成在19”宽的标准控制机柜中，触摸屏系统可以自动控制真空系统和各种工艺附件的工作。

。带人机接口的PLC自动真空控制系统

。7英寸彩色触摸屏

。工艺菜单可以自动控制镀膜过程，包括镀膜源，开关，基片台旋转，基片台加热和其他相关工艺附件（针对所选附件）

。工艺真空显示，流量控制显示（针对所选附件）

。真空阀位置,泵状态和联锁状态

。警报或错误消息

。 USB端口. csv文件格式处理数据日志记录

。以太网端口的远程支持和诊断

系统操作模式:

⚫ 自动模式，按照工艺菜单运转

⚫ 手动模式，按照需求进行工艺过程配置

⚫ PLC中的关键设置密码保护

ATS500系统具有高产能真空系统，包括：

⚫ Edwards XDS20i型无油干泵，用于腔室粗抽真空以及分子泵的预抽泵

⚫ Leybold Turbovac 600C 560l/s 型涡轮分子泵

⚫ 涡轮分子泵通过ISO160真空法兰安装在真空室的后部

⚫ 使用皮拉尼规和冷电离潘宁规监控系统压力

⚫ 具有完善的互锁设计，确保操作人员的安全。

真空腔室：

带水冷的真空腔室尺寸是500mm宽/直径，500mm高，采用304无磁不锈钢制造。腔室采用

方开门设计，门上安装有工艺观察窗

潜望镜结构设计的玻璃挡片装置，可以观察腔室内部

配置有一套可拆卸清洗的不锈钢腔室内衬板，便于腔室内壁的保护

腔室后部有一个ISO160真空法兰连接真空系统

腔室底板焊接到底部法兰，不可拆卸

限真空可达5E-7Torr。