德国Sentech激动扫描系统 MDPpro

少子寿命测量仪器的特征在于以1mm分辨率对500mm的一个面在不到4分钟内完成扫描。电阻率和少子寿命的测量完全无触摸。利用微波检测光电导率(MDP)同时测量少子寿命、光电导率、电阻率和p/n导电类型的变化。

MPDPro设计用于对电特性进行分析，在四分钟的测量时间内，对1毫米分辨率，500毫米砖砖(或晶片)自动扫描。进行完全非接触测量。

MDPpro系列具有快速、灵活，自动扫描多晶硅砖和晶片的稳固设计。同时测量少子寿命、光电导率、电阻率和样品平整度，所有测量图形同时绘制。这个仪器的设置非常简单，仅需要电源。测量必要性包括了工作站与数据库。样品装载可以手动或由自动系统来完成。在1mm分辨率下，156x 156 x 400 mm标准砖的测量速度小于4分钟。电阻率自动扫描选项具有长时间稳定性而无需频繁重新校准。用于参考测量的校准库也是可用的。由于偏析和预期掺杂类型的过补偿导致的导电类型转换的空间分辨测量可以以高空间分辨率来研究。

该仪器被设计用于工艺和材料的质量监控，例如单晶或多晶硅。多晶硅砖切割标准的自动输出。能够根据炉子的输出质量进行单独的炉子监控进行优化和决定投资。MDPpro是多晶硅砖生产商以及炉子技术生产商的标准仪器。

优势

• 脱机或晶圆的整体工具系列。少子寿命、光电导率、电阻率、p/n导电类型变化和几何样品平整度的同时自动扫描。
• 对于156x 156 x 400 mm标准砖，测量速度小于4分钟，分辨率为1mm，所有5幅测量图形同时绘制。
• 坚固耐用的设计和易于设置的性能。对于安装，仅需要电源。带有数据库的工作站包含在下面的隔间中。