自动扫描薄膜测量仪器SenSol

 

SenSol是SENTECH光伏产品组合中的自动大面积扫描仪器。自动表征膜厚、薄层电阻、雾度、反射和透射的均匀性。使用SenSol，可以监测大型玻璃基板上的沉积过程的均匀性，从而可以显著减少仪器维护后重新开始生产的时间。

 

整体表面分析

SenSol自动扫描系统是为薄膜测量设计的，在面板上的每个位置，特别是在边缘都可以进行测量。

 

TCO自动扫描

TCO可以研究厚度的均匀性、薄层电阻、光谱分辨的雾度H(λ)、反射R(λ)和透射T(λ)。

 
 

工艺优化

新的沉积工艺或清洗后的沉积设备的运行时间显著减少。

 

SenSol自动扫描仪器设计用于玻璃薄膜光伏制造中薄膜性能的质量控制的在线测量。大量的传感器可以集成到SenSol传感器平台中。这也允许特定的工艺监测，提供补偿工艺中出现的差异。

 

瑞士Oerlikon Solar公司是光伏薄膜测量设备的供应商，也是SENTECH的主要参考客户，通过SenSol的工艺监测确保了优异的生产效果。

 

SENTECH易于使用，面向配方的SenSol自动扫描软件为制造商主计算机提供了灵活和定制的接口，以及客户特定的薄膜测量结果的图形表示。