薄膜反射和透射的在线监测系统 RT Inline

 

反射率、透射率和膜厚的高速在线测量是RT Inline的设计特点。传感器头阵列扫描薄膜在大型玻璃基板上的反射和/或透射，作为内部参考测量。利用FTPadv Expert软件可以方便地进行层沉积过程的在线监测。软件接口可用于与主机的数据通信。

 

高速薄膜测量

借鉴内部参考技术，不需要在单独的位置上进行外部参考测量。这保证了连续多点薄膜测量的速度。

 

多探头装置

多达7个传感器探头由一个控制器驱动，为均匀性监测提供了具有成本效益的解决方案。

 

SENTECH软件

易于使用、基于配方的FTP软件包括一个大型的预定义应用数据库，这些应用符合研发以及生产环境中的质量控制要求。

 

RT inline 薄膜测量系统是为沉积过程的在线质量控制而设计的。该方法基于SENTECH著名的薄膜厚度探针FTPadv，用于测量反射率和薄膜厚度。它分别工作在420～1050 nm、2000～2500 nm的光谱范围内。可以分析光滑和纹理结构的TCO薄膜、CdS薄膜、a-Si、µ-Si、CIGS和CdTe吸收膜。

 

通过RT inline，可以无损伤地监测大型玻璃基板或塑料线圈上TCO、吸收层和缓冲层沉积的均匀性。薄膜厚度和反射率测量是通过固定安装的传感器探头在玻璃基板上方从沉积设备传送到下一个工艺期间进行的。

 

一个控制器可以操作多达7个传感器，使得RT inline测量仪器具有成本效益、灵活性和生产性的结果。选配的超声传感器控制探头和玻璃平台之间的距离，以排除错误的测量结果。

 

SENTECH配方驱动的FTP软件FTPadv Expert包括预定义的即用应用程序综合包。它提供了一个选配的软件接口，用于将数据从测量仪器传输到主机。因此，可以通过来自主机或传送的信号手动或自动进行薄膜测量。

 

使用SENTECH SENresearch光谱椭偏仪开发的配方可以直接传输到RT inline中。基于这样的光谱数据，甚至可以在线测量复杂的层叠膜。

 

 

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