匀胶机 SM-150 是手动或半自动薄膜涂覆的佳选择，适用于表面没有或有非常矮形貌的基板涂胶作业。所有市面上的光刻胶与涂层材料都可被均匀涂覆到尺寸大为 150mm (6”) 127x127mm (5”x5”)的基板上。工艺腔设计可满足大直径为 176mm。

 SM系列的优点在于，具有令人信服的高度涂膜均匀性和工艺重复性，并且操作简单、使用舒适。为了使花费在工艺腔清洁上的精力小化，SAWATEC   公司开发了一种其实用且经济的工艺腔保护碗。工艺结束后，可以简单地移除和清理这种保护 碗。经由如此的高品质设计，也可以将维护成本小化。因此，SAWATEC匀胶机可被优先应用于实验室，研发，试产项目以及研究所。

功能（基本配置）

。可编程，多 50 个程序(各包含 24 个程序段)

。适用于重复工艺的快速启动功能

。触摸屏面板控制，方便用户程序配置工艺参数：转速、加速度、工艺时间旋转方向可选 (顺时针、逆时针)

。手动装卸基板
。通过具有安全保护的真空系统进行基板固定

。手动盖子带有空气入口和闭合安全保护工艺结束时的声音信号

性能数据

。速范围：0 到 10,000rpm +/-1rpm

。转速加速度：0–8,000rpm 为0.8/0–10,000rpm为1 1)

。减速度：10,000rpm-0 为2.5/8,000rpm-0 为0.8 1)

。工艺时间长为 2376 s

。每个程序段的给胶时间为 99 s

 

附加功能（可选项）

。半自动的管式给胶系统，带有手动给胶手臂和回吸功能的

。工艺腔的手动氮气净化装置

。用于简化操作的“启动/停止”脚踏开关(电缆长度 1.8m)

。经阳电镀处理的铝制工艺腔

。铝制或 PE(聚乙烯)材料制成的工艺腔保护碗用于 SM-150 匀胶机的真空泵

。晶圆定位器 2”–6”(圆形)

旋转卡盘分类

为了达成完美涂覆效果，我们提供了不同尺寸、材料和设计的旋转卡盘。根据用途的不同，可使用单块结构或具有光学辅助置中功能的两部分构成的旋转卡盘。为避免基板背面被弄脏，有时不仅要选择佳的旋转卡盘尺寸，还要采用门的卡盘设计。旋转卡盘的更换过程非常简单，不需要使用工具。

。真空卡盘小片

。真空卡盘 1” 3”(圆形)

。真空卡盘 100mm(4”) 150mm(6”)

。真空卡盘 100x100mm(4”x4”) 真空卡盘 125x125mm(5”x5”) 其他卡盘需咨询

设计和尺寸

。桌上式版本 SM -150-BT，

。内嵌式版本 SM-150-BM

。紧凑且节省空间的结构形式

。POM(聚甲醛树脂)材料制成的工艺碗，确保了高材料兼容性

。POM(聚甲醛树脂)材料制成的集成式防溅环，确保无光刻胶溅出。透明盖板：玻璃制成

。具有 3.5” 彩色显示屏的触摸屏面板

。高精度，高动态的交流伺服电机

。经电解抛光处理的不锈钢外壳

。外壳(BT): 350 x 510 x 403mm (长*宽*高）

。重量(BT): 约 29kg

。安装模块(BM): 300 x 300 x 368mm (长 x 宽 x

。安装面板 320 x 166 x 50mm ( 长 x  宽 x

。重量(BM): 约 20kg

接口

。230 VAC 50/60Hz 10A

。脚踏开关用插头接口

。技术真空，软管 Ø6/4mm(-0.8bar)
。压缩空气或氮气软管Ø6/4mm(3bar) (仅限于和给胶系统配合使用)

。排放接口 Ø12mm

。BT 废气接口 Ø38mm(20–50m3/h) BM 废气接口 Ø25mm(20–50m3/h)