离子加速电压	2 ～ 8 kV
离子束直径	500 um( FWHM)
研磨速率	500 um（两小时的平均值、8 kV、硅材质换算、突出量:100 um）
样品架冷却达到的温度	-120 ℃
样品冷却持续时间	8小时以上
制冷箱容量	约1升
承载样品的大尺寸	11mm(长) × 8mm（宽）× 3mm（厚）
样品台移动范围	X轴：±6mm、Y轴：±2.5mm
固定样品方法	夹式
样品加工摆角	±30°
加工观察用相机的倍率	约20～100倍（6.5寸显示器上）机械泵: 150 mm（宽） × 427 mm（长） × 230 mm（高）、约16 kg
空气隔离系统	转移舱
空气隔离法	将舱内设定成氩气气氛，盖上转移舱盖子，将样品封在舱里。
操作方法	触控屏、6.5寸显示器
使用气体	氩气(用质量流量控制器控制流量)
压力测试	潘宁真空计
主抽真空系统	涡轮分子泵
辅助抽真空系统	机械泵
尺寸、重量	主机：约670mm (宽) × 720mm(长) × 530mm(高)、约73kg 机械泵：约150 mm (宽) × 430 mm(长) × 230 mm(高)、约16kg
选配件	大型旋转样品架（IB‐11550LSRH)、（IB‐11550LSRH)　基座样品架（IB‐11560MBSH)　大型样品架（IB-11570LSH)　　喷碳样品架（IB-12510CCH）
电源	单相100～120 V±10%、50/60 Hz、0.6 kVA
接地线	独立地线(100 Ω以下)
氩气	使用压力：0.15±0.05 MPa(1.0 ～ 2.0 kg/cm²) 纯度99.9999%以上(氩气、气瓶及调压器由客户自备) 金属配管连接口:JISB0203 RC1/4
室温	15～25 ℃
湿度	60%以下

产品特点：

★ 冷却的效果　样品：镀锌钢板

· 可提供500μm/h（8KV/2小时的平均值）的研磨速率。

· ※ 通常加工（无冷却）时，铁和锌的接合面上能够观察到间隙，而冷却加工时则没有间隙

· ★ 使用温度控制系统（选配件）冷却　样品：硅晶片接合面

· ※ 常规加工由于热损伤造成粘合剂变形，出现了很大的间隙。 -150 ℃时，冷却过度，能观察到胶粘剂和硅晶片研磨面的接合面上出现了间隙，但通过温度控制冷却则没有间隙。

· ★ 合理利用间歇加工、冷却功能和温度控制冷却功能可支持各种样品的制备

· ★ 进程监控功能

· 截面加工状态可通过CCD相机实时监控，倍率还可调整。

· ★ 防止充放电的喷镀功能

· 备有离子束溅射功能（选配项），可以喷涂颗粒感良好的薄涂层。适合于象EBSD等需要花样识别等情况。

· ★ 平面离子减薄样品架

· 以小角度的离子束低角度照射样品，达到清除表面污垢、平滑表面等效果。另外也非常适合于选择性蚀刻。

· ★ 截面样品制备单元

· 安装在平面离子减薄样品架上使用。该单元可用于在旋转样品的同时进行离子束加工。可以用来制备象多孔质材料、粉末、纤维等容易出现加工条纹的样品的截面。

产品优势

JEOL截面样品抛光仪IB-19520CCP ，在加工过程中利用液氮冷却，能减轻离子束对样品造成的热损伤。冷却持续时间长、液氮消耗少的构造设计。在装有液氮的情况下，也能将样品快速冷却、恢复到室温，并且可以拆卸。配有传送机构，在隔离空气的环境下能完成从加工到观察的全过程。

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日本JEOL 截面样品抛光仪

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