产品特点：

· 软X射线分析谱仪(SXES :Soft X-Ray Emission Spectrometer)通过组合新开发的衍射光栅和高灵敏度Ｘ射线CCD相机，实现了高的能量分辨率。
和EDS一样可以并行检测，并且能以0.3eV(费米边处Al-L基准)的高能量分辨率进行分析，超过了WDS的能量分辨率。

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· 系统简介

· 新开发设计的分光系统，不需移动衍射光栅或检测器（CCD）就能同时获取不同能量的谱图。而且由于能量分辨率很高，还可以采集状态分析分布图

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· SXES、WDS、EDS的比较

· 各种分光方法中氮化钛样品的谱图

· 即使在WDS分析中氮化钛的谱峰也發生重叠，需要采取去卷积的数学方法处理。如下图所示，SXES具有很高的能量分辨率。

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· 比较表

锂离子二次电池（LIB）分析实例

· 能观察到LIB的充电量

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· 充满电后Li-K样品的谱图

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说明: 由于理论上的原因，氧化锂的检测很困难

· 轻元素的测试实例

· SXES测试碳素化合物的实例

· 可以测试金刚石、石墨、聚合物的不同。

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· 各种氮素化合物的测试实例

· 氮素也可以根据波形分析化学结合状态。 硝酸盐和氮化物的波形完全不同，还能观察到易受电子束损伤的铵盐的独特波形。

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