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光刻机&3D打印机
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Sigma SEM德Zeiss 电子束直写仪
德Zeiss Sigma SEM 电子束直写仪,利用曝光抗蚀剂，采用电子束直接曝光，可在各种衬底材料表面直写各种图形，图形结构（小线宽为10mm），是研究材料在低维度、小尺寸下量子行为的重要工具。广泛应用于纳米器件，光子晶体，低维半导体等沿域。
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Gemini 和Apollo美国Trion批量生产用设备去胶系统
JBX-8100FS 圆形电子束光刻系统$r$n$r$n· 最新高精密JBX-8100FS圆形电子束光刻系统，通过全方位的设计优化，实现更简便的操作，更快的刻写速度，更小的占地面积和安装空间，并且更加绿色节能。
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